Lithografie

Kerntechnologie jeder Forschungseinrichtung im Bereich der Mikro- und Nanotechnologien ist die Lithografie. Das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien hält Lithographielösungen für eine Vielzahl von komplexen Strukturierungsanforderungen vor.

Neben der klassischen Fotolithografie mit Mask- und Masklessaligner, stehen auch Nanolithografiemethoden zur Verfügung. Dazu gehören ein hochentwickeltes E-Beam-Lithographiesystem für das Schreiben ultrafeiner Strukturen, schnelle Laserdirektschreibwerkzeuge und ein Nanoimprintverfahren.