Mikromechanische Sensoren

Die Arbeitsgruppe beschäftigt sich mit der Entwicklung und Untersuchung fernabfragenden Strömungsmess-Systemen basierend auf mikroelektronischen und –mechanischen multifunktionalen Sensoren mit Gasarterkennung.

Leiter Arbeitsgruppe 

Dr. rer. nat. Jens-Peter Zöllner

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​​​​​​Kirchhoffbau, Raum 2015

Christoph Gorke

Forschungsprojekt EMSiG

Teilthema: 

Entwicklung eines Mikroresonators zur Erfassung  von Krafteinwirkungen mittels kombinierter statischer und dynamischer Messungen

Ziel des Projektes: 

Entwicklung und Bau eines fern abfragbaren Systems zur Strömungsmessung von Gasen mit Gasarterkennung. Die TU Ilmenau entwickelt den MEMS-basierten Sensor. Aus den Ergebnissen des Projektes werden für die Projektpartner Voraussetzungen geschaffen, innovative Messgeräte zu entwickeln und zu vertreiben, die insbesondere die gasartabhängige Strömungsmessung mit intelligenten Sensoren erlauben. Diese Geräte können im Labor als auch in Industrieanlagen eingesetzt werden.

Projektpartner:

  • Electronics & Sensors Ingenieurbüro Dr. Ehrhardt (E&S)
  • Entwicklungs- und Technologie Gesellschaft mbH Ilmenau (ETG)
  • Technische Universität Ilmenau
    Fachgebiet Mikro- und nanoelektronische Systeme (MNES)