III-V-freie Schutzschichten

Univ.-Prof. Dr. rer. nat. habil. Dr. h. c. Peter Schaaf

AnLi

Kontakt:
Meitnerbau, Raum 1.2.114
Gustav-Kirchhoff-Str. 5
98693 Ilmenau
(+49) 03677-69 3611
peter.schaaf@tu-ilmenau.de oder wet@tu-ilmenau.de

Doktorand - M. Sc. Hauke Honig

Paulo Munante

Kontakt:
Feynmanbau, Raum 307
Gustav-Kirchhoff-Straße 7
98693 Ilmenau
 (+49) 03677 - 69 3420
 hauke-lars.honig@tu-ilmenau.de

Aufgaben im Projekt:

  • Herstellung von III-V-freien Metalloxid Fenster- und Schutzschichten mittels physikalischer Gasphasenabscheidung
  • Materialcharakterisierung der abgeschiedenen Metalloxidschichten hinsichtlich chemischer, struktureller, optischer, elektrischer und elektronischer Eigenschaften
  • Anpassung der Abscheide- sowie von Wärme- und Plasmabehandlungsprozessen zur Kompatibilität mit planaren und nanodrahtstrukturierten III-V-Substraten
  • Materialanalyse von Schutzschichten nach Einsatz in PEC-Stabilitätstests
  • Aufbringen Ni-haltiger Nanostrukturen auf III-V/Metalloxid-Schichtstapel als Katalysatoren

Methoden:

(reaktives) Magnetronsputtern, Rasterelektronenmikroskopie, energie- und wellenlängendispersive Röntgenspektroskopie, Ionenstrahl-Querschnittspräparation, Röntgendiffraktometrie, UV/Vis-Spektroskopie, Rapid Thermal ProcessingRöntgendiffraktometrie, Röntgen-Photoelektronenspektroskopie

Links: https://www.tu-ilmenau.de/universitaet/fakultaeten/fakultaet-elektrotechnik-und-informationstechnik/profil/institute-und-fachgebiete/fachgebiet-werkstoffe-der-elektrotechnik