Das Fachgebiet unterhält und betreibt mehrere Labore sowie Technologien zur Materialherstellung, -bearbeitung sowie -charakterisierung im Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (Feynmanbau), Meitnerbau, sowie Helmholtzbau.
Nachfolgend sind die wichtigsten Gerätschaften und Einsatzmöglichkeiten aufgeführt.
Für detailliertere Informationen wenden Sie sich bitte entweder an die angegebenen Laborverantwortlichen oder an wet@tu-ilmenau.de.
Feynmanbau - Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Strukturanalyselabor - Räume 020 - 028.
Meitnerbau
Laborräume 3.2.305-3.2.312 sowie im Reinraum