RSML-Workstation
Rastersonenmikroskopie- und Lithographie-Workstation mit atomarer Auflösung
Ansprechpartner
Prof. Eberhard Manske
Fachgebiet Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik
Telefon: +49 3677 69-5050
e-mail: eberhard.manske@tu-ilmenau.de
Förderinformation
Projektträger: Thüringer Aufbaubank (TAB)
Förderkennzeichen: 2021 FGI 0031
beteiligte Fachgebiete: Fertigungs- und Präzesionsmesstechnik
Laufzeit: 01.10.2021 - 30.06.2023
Projektinformation
Im Graduiertenkolleg NanoFab wird seit 2017 erfolgreich an den Grundlagen zur systematischen Anwendung von Präzisionsstrategien auf Nanofabrikationsprozesse gearbeitet. Hier werden neue Nanofabrikationstechniken, z.B. spezielle additive Verfahren und Nanomanipulationstechniken, auf ihr Potential untersucht. Mittels des beantragten Geräts können die bisherigen Grenzen der Strukturierung bis in den atomaren Bereich verschoben werden. Ziel ist auch das Vordringen in Bereiche und Applikationen der Quantentechnologie ( z.B. Einzelelektronentransitoren).