RSML-Workstation

Rastersonenmikroskopie- und Lithographie-Workstation mit atomarer Auflösung

Ansprechpartner

Prof. Eberhard Manske
Fachgebiet Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik

Telefon: +49 3677 69-5050
e-mail:   eberhard.manske@tu-ilmenau.de

Förderinformation

Fördermittelgeber: Europäische Fonds für regionale Entwicklung - Kofinanziert von der EU

Projektträger: Thüringer Aufbaubank (TAB)

Förderkennzeichen: 2021 FGI 0031

beteiligte Fachgebiete: Fertigungs- und Präzesionsmesstechnik

Laufzeit: 01.10.2021 - 30.06.2023

Projektinformation

Im Graduiertenkolleg NanoFab wird seit 2017 erfolgreich an den Grundlagen zur systematischen Anwendung von Präzisionsstrategien auf Nanofabrikationsprozesse gearbeitet. Hier werden neue Nanofabrikationstechniken, z.B. spezielle additive Verfahren und Nanomanipulationstechniken, auf ihr Potential untersucht. Mittels des beantragten Geräts können die bisherigen Grenzen der Strukturierung bis in den atomaren Bereich verschoben werden. Ziel ist auch das Vordringen in Bereiche und Applikationen der Quantentechnologie ( z.B. Einzelelektronentransitoren).