DFG Gerätezentrum

Gerätezentrum "Mikro-Nano-Integration"

Ansprechpartner

Prof. Jens Müller
Fachgebiet Elektroniktechnologie

Telefon: +49 3677 69-2606
e-mail: jens.mueller@tu-ilmenau.de

Förderinformation

Projektträger: DFG

Förderkennzeichen:

MU 3171/2-1 + MU 3171/6-1,

SCHA 632/19-1 + SCHA 632/27-1,

HO 2284/4-1 + HO 2284/12-1

beteiligte Fachgebiete: Elektroniktechnologie, Werkstoffe der Elektroniktechnologie, Mikromechanische Systeme

Laufzeit: 01.12.2013 - 31.07.2020

Gerätezentrum "Mikro-Nano-Integration" (DFG Gerätezentrum)

Das DFG-Gerätezentrum "Mikro-Nano-Integration“ ermöglicht externen Partnern einen noch besseren Zugang zur hervorragenden technologischen Infrastruktur und der Spezialausstattung des Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien.

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