Leistungsfähige Strukturierungsverfahren zur präzisen Erzeugung von funktionellen 3D Nanostrukturen sind für die Herstellung neuartiger Mikro- und Nanosensoren bin hin zur Realisierung der zweiten Quantenrevolution von elementarer Bedeutung. Im Forschungsvorhaben werden die grundlegenden Mechanismen einer rastersondenbasierten, elektronenstrahlinduzierten 3D Gasphasen-Materialabscheidung als auch die damit verbundenen technologischen Anforderungen und Einschränkungen aufgeklärt. Hierdurch sollen zum einen das Potenzial dieser Technologie in Richtung 3D-Nanomaterialsynthese und Aufbau nanoelektromechanischer Systeme evaluiert, als auch eine künftige Implementierung und Weiterentwicklung diskutiert werden können. Basierend auf Experimenten zur lokalen 3D-Abscheidung von Kohlenstoffnanostrukturen sollen die grundlegenden Einflussparameter identifiziert und erforscht werden, die für eine kontrollierte und reproduzierbare 3D-Abscheidung relevant sind.