Der Studiengang ist konsekutiv angelegt und baut im Regelfall auf dem sechssemestrigen Bachelorstudiengang „Technische Physik“ oder auf verwandten naturwissenschaftlichen oder technischen Studiengängen auf. Der Übergang aus bestehenden Diplomstudiengängen ist möglich.

Es wird erwartet, dass Bewerber*innen bereits ein sehr gutes physikalisches Grundlagenwissen und gute Kenntnisse der Mathematik und Chemie mitbringen. Vertrautheit mit den Denk- und Arbeitsmethoden der Physiker*innen ist Voraussetzung, mit denen der Ingenieur*innen wünschenswert. Hierauf aufbauend bietet der Masterstudiengang „Technische Physik“ eine enge Verzahnung von Lehre und Forschung in den Arbeitsgruppen des Instituts für Physik und in denen der klassischen ingenieurwissenschaftlichen Fachgebiete.