In der zweiten Phase konzentrieren sich die Forschungsarbeiten auf das Potential der Optimierung von 3D-Mikro- und Nanostrukturen mit optimierten Ätz/Entwicklungsverfahren und -strategien. Zu diesem Zweck wird das fundamentale Verständnis für plasmabasierte Ätzverfahren erweitert. Geeignete Prozesse werden optimiert und für die gezielte Realisierung dreidimensionaler Mikrostrukturen mit angepasster Morphologie eingesetzt. In Kombination mit gezielter z.B. thermischer Behandlung werden auf diese Weise mikro- und nanostrukturierte 3D-Oberflächen herausragender Güte realisiert.
Projektleiter: Prof. Sinzinger, Prof. Strehle
