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Prof. Dr.-Ing. Jens Müller
Fachgebietsleiter
Telefon: +49 3677 69-2606
Prof. Jens Müller
Fachgebiet Elektroniktechnologie
Telefon: +49 3677 69-2606
e-mail: jens.mueller@tu-ilmenau.de
Fördermittelgeber: Europäische Fonds für regionale Entwicklung - Kofinanziert von der EU
Projektträger: Thüringer Aufbaubank
Förderkennzeichen: 2019 FGI 0014
beteiligte Fachgebiete: Elektroniktechnologie, Mikrosystemtechnik, Technische Optik, Anorganisch-nichtmetallische Werkstoffe, Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik
Laufzeit: 01.01.2020 - 30.09.2021
Das Sintern von Niedertemperaturkeramiken (LTCC) unter einem Druck von ca. 0,5 MPa ist eine etablierte Technologie zur Unterbindung der lateralen Schrumpfung beim Verdichtungsprozess mit dem Ziel, in diesem Kontext die Schrumpfungsabweichungen zu minimieren. Letztere zeichnen verantwortlich für die Deckungsgenauigkeit bei maskenbasierten Postprozessen. Darüber hinaus wird die Planarität der Substrate im Vergleich zum freien Sintern verbessert. Industriell wird dieses Verfahren bei der Volumenfertigung planarer Schaltungsträger und elektrischer Komponenten für Automobilanwendungen bzw. für die Komminikationstechnik eingesetzt. Nachteil des Prozesses ist die Beschränkung auf ebene Substrate ohne Hohlräume oder Kavitäten, die z.B. in der Fluidsensorik benötigt werden.