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Prof. Dr.-Ing. Jens Müller
Fachgebietsleiter
Telefon: +49 3677 69-2606
Prof. Jens Müller
Fachgebiet Elektroniktechnologie
Telefon: +49 3677 69-2606
e-mail: jens.mueller@tu-ilmenau.de
Fördermittelgeber: Bundesministerium für Bildung und Forschung
Projektträger: Projektträger Jülich (PTJ)
Förderkennzeichen: 03WKDG02I, 03WKDG3E, 03WKDG01J, 03WKDG04
beteiligte Fachgebiete: Elektroniktechnologie, Mikrosystemtechnik
Laufzeit: 01.09.2019 - 31.08.2022
Im Rahmen dieses Verbundprojektes werden mit der SiCer-Technologie (Einsatz von Silizium-Keramik-Verbundsubstraten) neue Sensorsysteme für den Anwendungsbereich "Flüssigkeitssensorik" untersucht. In enger Kooperation mit den beteiligten Projektpartnern werden für die im Verbundprojekt zu entwickelnden Sensoren die anwendungsspezifischen, technologischen Anforderungen abgestimmt und entsprechende Lasten- und Pflichtenhefte für die Entwicklung und aufbau SiCer-basierter, multifunktioneller Sensorsysteme für den Anwendungsbereich "Flüssigkeitssensorik erarbeitet. Im Ergebnis dessen werden Sensorelemente und die dazugehörige Aufbau- und Verbindungstechnik (elektrisch, fluidisch, thermisch, optisch) durch die TU Ilmenau maßgeblich konzipiert, entworfen und als Funktionsmuster aufgebaut und untersucht, Anschließend wird die prinzipielle Funktionsfähigkeit der Sensorelemente geprüft und bevor diese an die Projektpartner für die weitere Systemintegration übergeben werden.