• Direkt zum Hauptmenü
  • Direkt zum Inhalt
  • Direkt zum Fußbereich
Google Suche
×
 
  • Universität
    • Kompass mit einer roten Nadel, die nach Norden zeigt Profil
      • Porträt und Leitbild
      • Struktur und Kontakt
      • Fakten und Zahlen
      • Referenzen und Auszeichnungen
      • Campus und Anfahrt
      • Satzungen und Ordnungen
    • Fakultäten
      • Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik
      • Fakultät Informatik und Automatisierung
      • Fakultät Maschinenbau
      • Fakultät Mathematik und Naturwissenschaften
      • Fakultät Wirtschaftswissenschaften und Medien
    • Mann mit Aktenkoffer steigt lange Treppe hoch Karriere
      • Arbeiten an der TU Ilmenau
      • Wissenschaftliche Karriere
      • Stellenangebote
      • Berufsausbildung
      • Stipendien und Stifter
    • Pressemitteilung Medien und News
      • Pressemitteilungen
      • UNIonline - Das Magazin
      • Veranstaltungen
      • Publikationen
      • Fotos und Videos
      • Themenjahr 2022 "Vernetzte Welt"
      • Pressesprecher
    • Quicklinks
      • Universitätsbibliothek
      • Universitätsrechenzentrum
      • Universitätssportzentrum
      • Referat Gleichstellung, Diversität & Gesundheit
      • Qualitätsmanagement
      • TU Ilmenau Transfer GmbH
      • Zentralinstitut für Bildung
      • Uni Shop
      • Universitätsgesellschaft
      • Solidarität mit der Ukraine
      • Corona-Informationen
      • UNIonline - Das Magazin
      • Intranet
  • Studium
    • Vor dem Studium
      • Studienangebot
        • Bachelorstudiengänge
        • Masterstudiengänge
        • Bewerbung
        • Online studieren
        • Studienvorbereitung
        • FAQ Bewerbung/Einschreibung
      • Uni erleben
        • Veranstaltungen
        • Uni unterwegs
        • Campusbesuch
        • Schüler forschen
      • Studentin schaut auf Stadtplan Studienstart
        • Studienberatung
        • Erste Schritte
        • Wohnen und Studienfinanzierung
        • Studieren mit Beeinträchtigung
        • Gesundheit und Familie
      • Studentenleben
        • Kultur
        • Sport
        • Vereine und Initiativen
        • Studentische Vertretungen
        • Ilmenau
        • Thüringen
      • Quicklinks
        • Corona-Informationen zum Studienstart
        • Bewerberportal
        • Zugangsvoraussetzungen
        • Studienberatung
        • Modultafeln
        • Doppelabschlüsse
        • Studieren im Ausland
        • Studienvorbereitung
        • Freiwilliges Jahr
        • FAQ
    • Im Studium
      • Studienangebot
        • Bachelorstudiengänge
        • Masterstudiengänge
        • Interaktive Studienpläne
        • Doppelabschlüsse
        • Bewerbung
      • Studienverlauf
        • Studienberatung
        • Infos für Erstsemester
        • Studienorganisation
        • Semestereckpunkte
        • Vorlesungen und Prüfungen
        • Thoska und IT-Services
        • Formulare und Recht
        • Beiträge und Gebühren
      • Schlüsselkompetenzen
        • Sprachen
        • Studium generale
        • practicING by BASIC
        • freies Kursangebot
        • UNIKAT
        • Ilmkubator Gründerservice
        • Allianz THÜRING Science Camps
      • Campus und Leben
        • Wohnen und Studienfinanzierung
        • Studentische Vertretungen
        • Vereine und Initiativen
        • Kultur
        • Sport
        • Gesundheit und Familie
        • Ilmenau
      • Quicklinks
        • Interaktive Studienpläne
        • Moodle
        • Vorlesungsverzeichnis
        • Webmail
        • Prüfungsportal
        • Bibliothek
        • Jobs und Karriere
        • Cloud
        • Mensa
        • Semesterbeitrag
        • Beratungskompass (Intranet)
        • Corona-Informationen
    • Nach dem Studium
      • Berufseinstieg
        • Career Center
        • Wissenschaftliche Karriere
        • Stellenangebote der TU Ilmenau
        • Mentoring
        • Veranstaltungen
      • Gründerservice
        • Angebote des Ilmkubator Gründerservice
        • Ilmkubator Class
        • Partner und Netzwerk
        • Gründerstorys
        • Kontakt
      • Weiterbildung
        • Weiterbildungsangebote
        • Service und Beratung
        • PATONakademie
        • Berufsbegleitende Angebote
        • TU Ilmenau Bürgercampus
      • Alumni
        • AlumniCampus
        • Alumni finden
        • Alumni treffen
        • Informiert bleiben
        • Veranstaltungen
        • Alumni Faces
      • Quicklinks
        • als Alumni registrieren
        • Absolventenfeier
        • Promotion
        • Graduate Center
        • Career Center
        • Ilmkubator
        • Zentralinstitut für Bildung
        • PATONakademie
        • TU Ilmenau Bürgercampus
        • UNI-Shop
  • Forschung
    • Zwei Forscher im Reinraum mit Mundschutz Forschungsaktivitäten
      • Forschungsprofil
      • Forschung International
      • Forschungsprojekte
      • Fakultäten
      • Institute und Technologische Zentren
      • Forschungspartner der TU Ilmenau
    • Wirtschaft und Transfer
      • Transferstrategie und Handlungsfelder
      • Zusammenarbeit mit der TU Ilmenau
      • Transfer und Region
      • An-Institute
      • Ausgründungen aus der TU Ilmenau
    • Wissenschaftlicher Nachwuchs Wissenschaftliche Karriere
      • Promotion
      • Habilitation und Juniorprofessur
      • Tenure Track
      • Graduate Center
    • Service
      • Referat Forschungsservice und Technologietransfer
      • Ilmkubator Gründerservice
      • PATON | Landespatentzentrum Thüringen
      • Fort- und Weiterbildung - Zentralinstitut für Bildung
      • Forschungsnahe Dienstleistungen der Universitätsbibliothek
    • Quicklinks
      • Themenjahr 2022 "Vernetzte Welt"
      • Forschungsblog
      • Publikationen
      • Schutzrechte
      • Veranstaltungen
      • Leitlinien Transparenz
      • Gute wissenschaftliche Praxis
      • Gute Arbeitsbedingungen in der Wissenschaft
  • International
    • Come In
      • Studierende
      • Wissenschaftler*innen / PhD
      • Campus-Leben
    • Go Out
      • Studierende
      • Wissenschaftler*innen
      • Mitarbeiter*innen
    • Flaggen wehen im Wind TU Ilmenau weltweit
      • Kooperationen
      • Doppelabschlüsse
      • Erasmus+
      • Forschung International
    • Frau und Mann am Infotresen im Gespräch Service
      • International Office
      • we4you Studierendenservice
      • we4you Corona-Informationen
      • Welcome Center für internationale Wissenschaftler*innen
      • Intranet
    • Quicklinks
      • EU-Praktikum THÜRINGEN
      • Welcome Center
      • Dein Start in Ilmenau
      • APC / Vorfachstudium
      • Geflüchtete
      • DAAD
      • Veranstaltungsreihe 'Studieren International'
      • Mobility Online
      • GRIAT
Logo Technische Universität Ilmenau

Sub-project TM

  • Graduiertenkolleg NanoFab
  • Team
  • Forschung
    • Sub-project A
    • Sub-project B
    • Sub-project C
    • Sub-project TM
    • Sub-project TP
    • Sub-project KR
  • Studienprogramm
    • Grako-Vorträge
    • Vorlesungen
    • Soft Skills
  • Publikationen
  • News
    • Kalender
    • News Archive
×
 
English

Kontakt

Prof. Dr.-Ing. Steffen Strehle
Fachgebietsleiter

Fachgebiet Mikrosystemtechnik
Am Helmholtzring 12 (Werner-Bischoff-Bau Raum 3110)
98693 Ilmenau

Telefon: +49 3677 69-2485
Telefax: +49 3677 69-1801

Kontaktformular

  • Startseite
  • Universität
  • Fakultäten
  • Fakultät Maschinenbau
  • Profil
  • Institute und Fachgebiete
  • Graduiertenkolleg NanoFab
  • Forschung
  • Sub-project TM

Ein zentrales Thema der ersten Förderperiode bildeten Untersuchungen zur Messung an stark gekrümmten Oberflächen durch Erweiterung der NPMM um zwei Freiheitsgrade (Tool-/Sensorschwenkeinheit) unter Einhaltung des Abbe-Komparator-Prinzips. Als Ergebnis der Forschungsarbeiten wurde auf Basis von metrologischen und konstruktiven Variantenvergleichen ein Demonstrator für eine 5-Achs-Nanopositionier- und Nano-messmaschine aufgebaut und untersucht. Dabei wurde festgestellt, dass die Eigenschaften des Systems wesentlich von der metrologischen Qualität der Referenzhalbkugel und den dazugehörigen Interferometersystemen abhängen. Um mit den metrologischen Parametern in den unteren Nanometerbereich vorzudringen, sind umfangreiche weitere Forschungsarbeiten auf diesem Gebiet erforderlich. Besonderes Augenmerk ist auf eine detaillierte Fehleranalyse des Interferometersystems zu legen, um dadurch eine deutliche Qualitätsverbesserung der metrologischen Kette zu erreichen. Ein weiteres Ziel ist die Optimierung der Referenzhalbkugel bezüglich der Materialauswahl und der Herstellungstechnologie, um die erforderlichen topologischen Eigenschaften für messtechnische Applikationen im Nanometerbereich zu gewährleisten. Im Ergebnis der Forschungsarbeiten sollen am Ende der zweiten Förderperiode metrologische und konstruktive Richtlinien für Multiachs- Nanopositionier- und Nanomesssysteme unter dem Gesichtspunkt der Eignung für Applikationen in der Nanofabrikation erarbeitet werden.

Projektleiter: Prof. Füßl, Prof. Fröhlich

Mit diesem Teilprojekt wird die rückführbare Kalibrierung von kombinierten Kraft-Positionssensoriken verfolgt. Ziel der weiteren Arbeiten ist die metrologisch rückführbare Kalibrierung von Kraftsensoren im Nanonewtonbereich erheblich zu verbessern und aus dem in der ersten Generation realsisierten Kalibrieraufbau zu einer Fundamentalmesseinrichtung für kleine Kräfte zu entwickeln. Diese Fundamentalmesseinrichtung soll auf drei verschiedene Weisen auf die SI-Einheiten zurückgeführt werden:
   • Gravimetrisch mit kleinen Massenormalen
   • Elektromagnetisch nach dem Kibble-Waagen Prinzip
   • Elektrostatisch
Ein weiteres Ziel ist die Übertragung der - im großen nachgewiesenen - Kalibrierung von Nanonewtonkräften auf MEMS Systeme. In Zusammenarbeit mit Teilprojekt A1 werden Methoden zur direkten und indirekten Kalibrierung der dort erarbeiteten selbstaktuierten MEMS-Taster gefunden und untersucht. Langfristiges Ziel sind MEMS-Taster die Kräfte und Wege messen und in-situ selbst kalibrierfähig sind. Sowohl mit dem Cantilever-Kalibriersystem als auch mit den kalibrierten Cantilevern/Tastern wollen wir Kalibrierungen an Referenzmarken bekannter Geometrien und Materialeigenschaften auf dem Objekt selbst unter Ausnutzung der hohen Positioniergenauigkeit der NPMM erstmalig umsetzen und untersuchen. Eine konzeptionelle und inhaltliche Zusammenarbeit ist insbesondere mit den Teilprojekten KR2, A1 und TM1 vorgesehen.

Projektleiter: Prof. Fröhlich, Prof. Reger, Dr. Schäffel

zurück zur Forschung

Kontakt

TU Ilmenau
Ehrenbergstraße 29
98693 Ilmenau
Telefon +49 3677 69-0

Öffnet die Anfahrtsbeschreibung in neuem Tab (Karte)© OpenStreetMap-Mitwirkende, CC BY-SA

Service

  • Intranet
  • Struktur und Kontakt
  • Jobs und Karriere
  • Anfahrt und Campus

Infos

  • Studieninteressierte
  • Studierende
  • Unternehmen
  • Journalisten
  • TU Ilmenau 2022
  • Datenschutz
  • Impressum
  • Barrierefreiheit