Drei Studienabschnitte:
- theoretisch und methodisch anspruchsvolles, interdisziplinär ausgerichtetes Grundwissen auf den Gebieten der Präzisionsmesstechnik und der Präzisionstechnik für Nanobearbeitungstechnologien
- individuell zugeschnittene Spezialthemen entsprechend der Forschungsfelder und der Vorbildung des Kollegiaten
- Individuelle Begleitung/ Unterstützung der Dissertationen.
Struktur des Studienprogramms:

Das Studienprogramm setzt sich aus den folgenden Vorlesungen und Veranstaltungen zusammen:
- Ringvorlesung Präzisionsmesstechnik/Präzisionstechnik und Optik unter Einbeziehung von Gastwissenschaftlern (kollegspezifisch)
- Einführende und vertiefende Vorlesungen des Schwerpunkts
- Doktorandenkolloquien und Workshops (kollegspezifisch)
- Klausurtagungen (kollegspezifisch)
- Veranstaltungen zur Vermittlung von Schlüsselqualifikationen.