PostDoc
3983
Raum: SH 111
- WORK EXPERIENCE
2021.04-2022.03 Nantong Academy of Intelligent Sensing
Designing optical systems like long/middle wave infrared zoom lenses. - EDUCATION 2012.09-2020.08 Tianjin University PhD., Instrument Science and Technology (Supervisor: Prof. Xiaodong Hu) Dissertation: “Study on micro-vibration measurement system based on laser heterodyne interferometry”
- 2008.09-2012.06 Hebei University of Technology Tianjin, China
B.S., Measurement and Control Technology and Instrumentation
Research Training Group 3nd Generation
Raum:
Education:
- 2006-2010 B.Sc. in Optics and Laser Engineering
- 2011-2014 M.Sc. in Photonics
Focus of Research:
- Fourier Optics
- Beam Shaping Optical Elements
Hobbies:
- Swimming
- Hiking
1561
Raum: 3140 (Werner-Bischoff-Bau)
Education:
- 2011-2016 Bachelor of Science in Mechanical Engineering, Erciyes University, Turkey
- 2017-2020 Master of Science in Mechanical Engineering, Izmir Institute of Technology, Turkey
- 2021-Ongoing Master of Science in Micro and Nanotechnology, Ilmenau Technical University
- since April 2023 member of RTG Nanofab
Research Topic: Direct tip-induced 3D structuring under ambient conditions, 3D nanopatterning
8749364
RAUM: 1117 (IMMS)
Study / Education
- 2008 Bachelor in Mechatronics Engineering, Universidade de Brasília (UnB) – Brazil
- 2011 Trainee in IC Design – Mixed-Signals Systems (AMS), CTI Renato Archer – Brazil
- 2012 Trainee in Silicon Photonics Design – CTI Renato Archer – Brazil
- 2012 - 2023 Researcher (Dimensional Metrology Laboratory) at Instituto Nacional de Metrologia, Qualidade e Tecnologia (Inmetro) – Brazil
- 2023 Master in Electrical Engineering, Universidade Estadual de Campinas (Unicamp) - Brazil
- Since April 2023 Research Assistant at the Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH (IMMS), PhD candidate in Mechanical Engineering at TU Ilmenau and member of the Research Training Group Nanofab
Research topics
- Nanopositioning machines
- Metrological qualification
- Integration of probe based analytical and fabrication systems
- Improvement of dynamic performance
Hobbies
- Sports
- Music
3960
Raum: 106 (Schützenhaus)
Education and Studies
- 2019-2023: Master of Science in Optical Systems Technology/Optronics, TU Ilmenau
- 2023: Master’s thesis: Reconstruction of 3D images in light-sheet fluorescence microscopy with deconvolution and deep-learning algorithms at the Department of Technische Optik, TU Ilmenau
- Since 2023 member and PhD student of the Research Training Group NanoFab
Scientific focus
- Development and control of 5-dimensional nanopositioning machines
- Beam shaping for curved samples
Hobbies
- Badminton
- Basketball
3983
Raum: 111 (Schützenhaus)
Education and Studies:
- 09/2017 - 05/2023 studies of mechanical engineering at TU Ilmenau
- 01/2023 - 05/2023 diploma-thesis on “measurement of forces based on fiber optic form sensing”
- 10/2020 - 04/2021 internship at PTB Berlin, in working group 7.32- infrared radiometry
Research topic:
- fiber-optic form measurement in nanopositioning
Hobbies:
- running, mountainbiking, climbing
2773
Raum: EAZ 0221
Education and Studies
- 2013-2015 Apprenticeship specialist for event technology
- 2015-2020 Bachelor of Science in automotive engineering
- 2020-2023 Master of Science in mechanical engineering (specialised in mechanical design)
- Since 2023 member of the RTG
Scientific Focus
- force metrology
- electromagnetic, electrostatic and optic force compensation
Hobbies
- swimming
- music
Raum: Zusebau 2015/2016
Education and studies:
- - since 08/2023 Member of the research training group NanoFab with focus on position control in the nanometre range
- - 2021-2023 M.Sc. in Engineering Cybernetics and Systems Theory
- - 2016-2021 B.Sc. in Engineering Cybernetics and Systems Theory
1566
Raum: 3140 (Werner-Bischoff-Bau)
Education and Studies
- 09/2014-04/2019 Bachelor in mechanical Engineering
- 04/2019-04/2022 Master in mechanical Engineering
- 05/2022-04/2023 Scientific employee Quantum Hub Thüringen
Scientific focus:
- High-resolution laser patterning by plasmonic lithography
Hobbies:
- Mountainbiking
1411
Raum 204 (Haus M)
Education and studies
- 2014-2016 Bachelor in material physics, FAU Erlangen-Nürnberg, change to physics in 2016
- 2016-2018 Bachelor in physics, FAU Erlangen-Nürnberg
- 2019-2021 Master in physics with specialization in optics, FAU Erlangen-Nürnberg
- 2021-2022 Scientific employee in the research group ODEM, FAU Erlangen-Nürnberg
- seit 2022 Graduate student in the research group Technische Optik, TU Ilmenau
Scientific focus
- Investigation of whispering gallery mode resonators
Hobby
- Bouldering
2470
Raum: 2300 (Werner-Bischoff-Bau)
Studium/Ausbildung:
- 2020 Bachelor of Science in Technischen Kybernetik und Systemtheorie
- 2023 Master of Science in Technischen Kybernetik und Systemtheorie
- Seit Mai 2023 Teil des Graduiertenkollegs "NanoFab"
3824
Raum: 2090 (Newtonbau)
Education and Studies:
- 2011 - 2015 Apprenticeship as a Mechatronics Technician
- 2015 - 2016 Mechatronic Technician at ZF Friedrichshafen AG, Gotha
- 2016 - 2020 B.Sc. Mechanical Engineering at TU Ilmenau
- 2019 - 2020 Internship as Mechanical Engineer, Robert Bosch Fahrzeugelektrik Eisenach GmbH
- 2020 - 2021 Scientific Assistant at the Department of Mechanical Engineering, Institute for Design and Precision Engineering
- 2020 - 2022 M.Sc. Mechanical Engineering at TU Ilmenau
- 2022 - 2023 Scientific Assistant and Doctoral Student at the Department of Mechanical Engineering, Institute for Design and Precision Engineering
- Since April 2023 Member of the RTG NanoFab
Scientific focus:
- Research on high-resolution traceable measurement of forces in Nanofabrication
Raum: (Werner-Bischoff-Bau)
Education and Studies
- 2015 - 2019 Bachelor of Science in the Department of Mechanical Engineering, Taiwan Tatung University -> Graduate result project: the miniature Stirling engine powered generator.
- 2019 - 2022 Master of Science in the Department of Mechanical Engineering, National Taiwan University -> Join the Precision Metrology Laboratory(PML ME, NTU) Master’s thesis project: Research on Differential Interference Contrast(DIC) Microscopy Based on Quadriwave Lateral Shearing Interferometry and Structured-Light Modulation.
Scientific focus
- Precision Metrology, Optical Metrology, Differential Interference Contrast(DIC) Microscopy, and Optical system design.
Hobbies
- Riding a bicycle for traveling
- pencil sketching
- swimming
3983
Raum: 111 (Schützenhaus)
Education and studies:
- 2018-2021 M.Sc. Photonics, Friedrich Schiller University Jena/Abbe School of Photonics
- Since 2023 Scientific staff and PhD student, TU Ilmenau/RTG NanoFab
Scientific focus:
- Lithography, optics
Hobbies:
- Hiking
- fitness sports
- symphony orchestra
Research Training Group 2nd Generation
1806
Raum: M 211
Studium/Ausbildung
- 2012-2016 Bachelor Studium Mechatronik, TU Ilmenau
- 2016 Fachpraktikum & Bachelorarbeit bei 3T Analytik Thema „Konzeption und Auslegung einer mikroskopierbaren Messzelle“
- 2016-2018 Master Studium Mechatronik Vertiefung Mikromechatronik, TU Ilmenau
- 2018 Masterarbeit Im Thema „Untersuchung von Lebensmittelbestandteilen als unkonventionelle Sensormaterialien in der Mikrosystemtechnik“
- seit 2018 wissenschaftlicher Mitarbeiter am FG Technische Optik, TU Ilmenau
Arbeitsgebiete
- Mesoskopische Optik
- Untersuchung von Whispering Gallery Modes in optischen Mikroresonatoren
Hobbys/Sonstiges
- Snowboard
- Mountainbike
- Wandern
TU Ilmenau5066
Raum EAZ 0221
Jahrgang 1993
Studium/Ausbildung:
- 2016
Abschluss Bachelor of Science Mechatronik an der TU Ilmenau - 2017
Wissenschaftliche Hilfskraft am Leibniz Institut für photonische Technologien in Jena, Abteilung Quantendetektion - 2018
Auslandsaufenthalt an der Nationaluniversität Taiwan im Precision Metrology Laboratory - 2019
Abschluss Master of Science Mechatronik an der TU Ilmenau - seit 2019
Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fachgebiet Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik des Instituts für Prozessmess- und Sensortechnologie der TU Ilmenau - seit April 2020
Teil des Graduiertenkollegs "NanoFab"
Wissenschaftlicher Fokus:
Optische Profilometrie und maskenlose Belichtung auf Freiformflächen
TU Ilmenau1834
Raum: WBB 0300
Jahrgang 1996
Studium/Ausbildung:
- 2013-2017
B.Sc. Computertechnologie und Informatik, Vertiefung: Steuerung und Informatik in technischen Systemen, Sankt Petersburger Elektrotechnische Universität (ETU) «LETI» - 2017-2019
M.Sc. Computertechnologie und Informatik, Vertiefung: Steuerung und Informatik in technischen Systemen, Sankt Petersburger Elektrotechnische Universität (ETU) «LETI» - 2018
Projektingenieurin beim Ingenieurbüro Dr.-Ing. Viktor Sukaylo, Nürnberg - 2018-2019
M.Sc. Maschinenbau, Vertiefung: Prozessmess- und Sensortechnik, Doppelabschlussprogramm, TU Ilmenau - 2019-2020
Wissenschaftliche Mitarbeiterin am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau - seit April 2020
Graduiertenkolleg „NanoFab“, TU Ilmenau
Arbeitsgebiete:
Regelungstechnik, Systemidentifikation, mathematische und Computermodellierung, elektromagnetische Kraftkompensation
TU Ilmenau1464
Raum: NB 1210
Studium/Ausbildung:
- 2017
Abschluss Bachelor of Science Fahrzeugtechnik an der TU Ilmenau - 2019
Abschluss Master of Science Fahrzeugtechnik an der TU Ilmenau - seit 2019
Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau - seit 2020
Mitglied des Graduiertenkollegs "NanoFab"
Arbeitsgebiete:
Mehrkomponenten Kraft- und Drehmomentmessung, Elektromagnetische Kraftkompensation
3985
Raum: Schützenhaus 112
Studium/Ausbildung:
- 2016
Bachelor of Science in Mechatronik an der TU Ilmenau - 2019
Master of Science in Mechatronik an der TU Ilmenau - 01/2019 bis 03/2020
Entwicklungsingenieurin bei Nidec driveXpert GmbH - seit 04/2020
Wissenschaftliche Mitarbeiterin am Fachgebiet Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik der TU Ilmenau im Graduiertenkolleg "NanoFab"
3984
Raum: Schützenhaus 112
Born in 1993
- May 2017
Bachelor of Science degree in Mechanical Engineering / Machine Design at TU Ilmenau - May 2019
Master of Science degree in Mechanical Engineering / Measuring and Sensor Technology at TU Ilmenau - August 2019
Scientific research assistant and doctoral student at Precision Engineering Group,
project: „Linking the competences in the field of nanometrology“ - since April 2020
Member of RTG NanoFab
Research topic: "Subatomically resolved positioning over a relatively large, adressable range”
Hobbies: rock climbing, making music, riding motorcycle
4841
Raum: Z 2015/2016, Schützenhaus 109
Studies:
- 2017-2018
Master in Control and Automation Engineering, Pontificia Universidad Católica del Perú (PUCP) - 2018-2019
Master of Science, Technische Universität Ilmenau (TU Ilmenau), double degree program with the PUCP - Since 2020Ph.D. student with the Control Engineering Group at TU Ilmenau and member of the Graduiertenkolleg "NanoFab"
Research topics:
Passivity-based control, port-Hamiltonian systems, Lagrangian systems, nonlinear control, robotics
1293
Raum: WBB 3090
Education:
- 2010-2013
Training as a microtechnologist, Bosch Solar Energy AG, Arnstadt - 2013-2018
B.Sc. Optical System Technology, TU Ilmenau - 2018-2020
M.Sc. Optical System Technology, specialization in photonics, TU Ilmenau - 2020
Member of the scientific staff and PhD-student at the department Microsystems Technology Group, TU Ilmenau
Work areas:
- Nanoscale surface-enhanced Raman spectroscopy (nano SERS-) probes
- Nanoimprint lithography (NIL)
Hobbies
- Painting/drawing
- Hiking
- Fitness sports
3969
Raum: Schützenhaus 106
Study/ Education:
- 2015
Bachelor of Science Automotive Engineering - 2019
Master of Science Mechanical Engineering - 2014 - 2020
Project manager for special purpose machines - Since April 2020
Member of RTG NanoFab
Work areas:
Development of 5-dimensional Nanomeasuring- and positioning machines
2421
Raum: M 311
Studium/Ausbildung
- 2015-2019: Bachelorstudium Maschinenbau, TU Ilmenau
- 2018-2019: Fachpraktikum und Bachelorarbeit an der Carl Zeiss Jena GmbH, Jena; Bachelorarbeit (B. Sc.) zum Thema "Beleuchtungseinheit für die Herstellung von Druckschablonen"
- 2019-2020: Masterstudium Maschinenbau mit Studienrichtung Feinwerktechnik und Optik
- Masterarbeit (M. Sc.) an der Carl Zeiss Jena GmbH, Jena zum Thema "Erstellung eines holographischen Filters für eine Kameraanwendung"
- Seit 2020: Wissenschaftlicher Mitarbeiter und Promotionsstudent am FG Technische Optik, TU Ilmenau
Arbeitsgebiete
- Interferenz- und SLM basierte Lithographie
- integrierte optische Systeme für die Abbildung und interferenz-lithographische Beleuchtung
3983/1295
Raum: Schützenhaus 111/ WBB 3090
- 2016
DAAD RISE scholar in the group of Dr. Andres Castellanos-Gomez at IMDEA Nanoscience Institute Madrid - 2018
Bachelor of Science in Electrical Engineering and Information Technology (Majors in Micro-/Nanoelectronics and Electronics Technology) - 2019
Master of Science (with distinction) in Electrical Engineering and Information Technology (Majors in Microelectronics and Nanotechnology)
4841
Raum: Z 2015/2016
Education:
- 2013-2018
B.Sc. Mechatronics, TU Ilmenau - 2018-2020
M.Sc. Technical Cybernetics and Systems Theory, TU Ilmenau - Since 2020
Ph.D. student with the Control Engineering Group at TU Ilmenau and member of the Graduiertenkolleg "NanoFab"
Research topics:
Dynamic models and control of systems with hysteresis nonlinearities, fractional calculus, high-precision positioning
1858
Raum: WBB 0330
Studium/Ausbildung:
- 2020-2021 Technische Universität Ilmenau
Studiengang: Maschinenbau
Abschluss: Master of Science - 2019-2021 Sankt Petersburger Elektrotechnische Universität
Studiengang: Gerätebau
Abschluss: Master of Science - 2015-2019 Sankt Petersburger Elektrotechnische Universität
Studiengang: Gerätebau
Abschluss: Bachelor of Science
5049
Raum: EAZ 1216
Jahrgang 1994
Studium/Ausbildung:
- 2017
Bachelor of Science in Technische Physik an der TU Ilmenau - 2019
Master of Science in Micro- and Nanotechnologies an der TU Ilmenau - 08/2019 bis 03/2020
Wissenschaftliche Mitarbeiterin am Fachgebiet Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik der TU Ilmenau - seit 04/2020
Wissenschaftliche Mitarbeiterin am Fachgebiet Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik der TU Ilmenau im Graduiertenkolleg "NanoFab"
Research Training Group 1st Generation
- 2020: Promotion zum Thema "Innovative Beleuchtung für neuartige Abbildungs- und Lithographiesysteme"
- Jahrgang 1991
- 2014: Maschinenbaustudium an der TU Ilmenau, Bachelorabschluss
- 2016: Maschinenbaustudium an der TU Ilmenau, Masterabschluss
- Seit 2017: Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau im Graduiertenkolleg „NanoFab“
- 2020: Promotion zum Thema "Entwicklung eines Prüfstandes zur rückführbaren Kalibrierung von Cantilevern"
- Jahrgang 1992
- 2016: Bachelorabschluss im Studiengang Maschinenbau an der TU Ilmenau; Vertiefung Konstruktion
- 2017: Masterabschluss im Studiengang Maschinenbau an der TU Ilmenau; Vertiefung Prozessmess- und Sensortechnik
- Seit 2017: Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau im Graduiertenkolleg „NanoFab“
- 2020: Promotion zum Thema "Metrologie in fünfachsigen Nanomess- und Nanopositioniermaschinen"
Studium/Ausbildung
- 2007-2010 B.Eng. Maschinenbau, Vertiefung: Mechatronik, HS Ostfalia
- 2010-2013 M.Sc. Maschinenbau, Vertiefung: Mechatronik, TU Braunschweig
- 2014 Versuchsingenieur Automotive, Wolfsburg
- 2015-2017 M.Sc. Optische Systemtechnik, Vertiefung: Photonik, TU Ilmenau
- 2017- wissenschaftlicher Mitarbeiter am FG Technische Optik, TU Ilmenau
Arbeitsgebiete
- Integrierte optische Mikrosysteme zur Belichtung von Mikro- und Nanostrukturen
- Wellenfrontberechnung /-rekonstruktion
- Jahrgang 1988
- Januar 2014: Abschluss des Mechatronik-Studiums an der TU Ilmenau (Master)
- 2014 – 2017: Wissenschaftlicher Mitarbeiter an der TU Ilmenau am Fachgebiet Theoretische Elektrotechnik
- Seit April 2017: Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH und Mitglied im Graduiertenkolleg „NanoFab“
- 2020: Promotion zum Thema "A Lifting and Actuating Unit for a Planar Nanoprecision Drive System"
- Jahrgang 1989
- 2015: Physikalische Technik an der FH Coburg, Diplomabschluss
- 2017: Mikro- und Nanotechnologie an der TU Ilmenau, Masterabschluss
- Seit 2017: Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fachgebiet für mikro- und nanoelektronische Systeme der TU Ilmenau im Graduiertenkolleg „NanoFab“
- 2020: Promotion zum Thema "Feldemissions-Rastersondenlithographie mittels Diamantspitzen zur Erzeugung von sub-10nm Strukturen"
- Jahrgang 1990
- 2014: Maschinenbaustudium an der TU Ilmenau, Bachelorabschluss
- 2016: Maschinenbaustudium (Vertiefung: Prozessmess- und Sensortechnik) an der TU Ilmenau, Masterabschluss
- 10/2016 - 03/2017: Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau
- seit 04/2017: Doktorand im Graduiertenkolleg "NanoFab"
- 2020: Promotion zum Thema "Grundlegende Entwicklungen und Untersuchungen zur Mikro- und Nanostrukturierung durch Direct Laser Writing in Nanopositionier- und Nanomessmaschinen"
- Bis 2011: Studium der Ingenieurinformatik an der TU Ilmenau, Diplom
- 2011 – 2014: Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fachgebiet Systemanalyse, TU Ilmenau
- Seit 2014: Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau
- Seit 2017: Graduiertenkolleg „NanoFab“, TU Ilmenau
- 2020: Promotion zum Thema "Ein Beitrag zur Modellbildung und Steuerung der Nanopositionier- und Nanomessmaschine 200"
- Jahrgang 1993
- 2015: Studium der Elektrotechnik- und Informationstechnik an der TU Ilmenau, Masterabschluss
- 2015: Studium der Metrologie und Messtechnik an der Nationalen Universität „Lviv Politechnik, Masterabschluss
- Dezember 2015 bis April 2017: wissenschaftlicher Mitarbeiter an der Nationalen Universität „Lviv Politechnik“
- Seit 2017: Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau im Graduiertenkolleg „NanoFab“
- Jahrgang 1987
- 2012 Abschluss als B.Sc. Maschinenbau an der TU Ilmenau
- 2012 Studienaufenthalt an der University of Nottingham
- 2013 Forschungsaufenthalt am Forschungszentrum der Daimler AG in Ulm
- 2015 Abschluss als M.Sc. Maschinenbau an der TU Ilmenau
- 2015 Auszeichnung der Masterarbeit mit dem Förderpreis Maschinenbau des „Vereins zur Förderung der Fakultät für Maschinenbau und der Feinwerktechnik der Technischen Universität Ilmenau e.V.“
- 2015-2017 wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Maschinen- und Gerätekonstruktion im Fachgebiet Feinwerktechnik
- Seit 2017 wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Maschinen- und Gerätekonstruktion im Graduiertenkolleg „Tip- and laser-based 3D-Nanofabrication in extended macroscopic working areas (NanoFab)“
- 2020 Promotion zum Thema "Grundlegende Untersuchungen zum konstruktiven Aufbau von Fünfachs-Nanopostionier- und Nanomessmaschinen"
- Jahrgang 1991
- 2015: Studium der Smart Systems Integration an der Heriot-Watt University, Hogskolen im Buskerud und Vestfold, Budapest University of Technology and Economics unter dem erasmus plus Programm, Masterabschluss
- Seit 2017: Wissenschaftliche Mitarbeiterin am Fachgebiet Mikromechanische Systeme der TU Ilmenau im Graduiertenkolleg „NanoFab“
- 2020: Promotion zum Thema "Soft NanoimprintLithography on CurvedSurfaces"
- Jahrgang 1993
- 2017: Erstes Staatsexamen für gymnasiales Lehramt in den Fächern Physik, Mathematik und Germanistik
- seit 2017: Wissenschaftliche Mitarbeiterin am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau im Graduiertenkolleg „NanoFab“
- 2020: Promotion zum Thema "Kombination von zweiphotonenbasiertem direktem Laserschreiben mit großflächiger und hochpräziser Nanopositionierung"
- Jahrgang 1989
- 07.2012 - 07.2014 Master, Mechatronik, Technische Universität Ilmenau, Schwerpunkte: Regelung mechatronischer Systeme, Mikrosystemtechnik
- 03.2013 - 12.2013 Auslandsstudium, Pontificia Universidad Católica del Perú, Lima, Studium im Rahmen eines Doppelmasterprogrammes mit der TU Ilmenau
- 08.2014 - 12.2014 Wissenschaftlicher Mitarbeiter, TU Ilmenau, Fachgebiet Regelungstechnik, Mehrgrößenidentifikation am Luftpfad eines aufgeladenen Dieselmotors
- seit 01.2015 Stipendiat der Thüringer Graduiertenförderung, TU Ilmenau, Fachgebiet Regelungstechnik, Thema der Promotion: Nutzung nicht-ganzzahliger Systeme in der Regelungstechnik
- Research topics: Fractional order systems, system identification, local linear model networks, nonlinear systems
- 2020: Promotion "Applications of Equivalent Representations of Fractional- and Integer-Order Linear Time-Invariant Systems"
Sub-project leader
Fakultät Maschinenbau
Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
FG Prozessmesstechnik
Teilprojekte: TM1, TM2, KR2, A3, C2, N2, TP3
Fakultät Maschinenbau
Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
FG Prozessmesstechnik
Teilprojekte: TM1
Fakultät Maschinenbau
Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
FG Nanofabrikations- und Nanomesstechnik
Teilprojekt B2, C1, KR2, N1, TM1
Fakultät Maschinenbau
Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
FG Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik
Teilprojekte: A2, B2, C2
Fakultät Maschinenbau
Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
FG Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik
Teilprojekt: A2, C2
Fakultät für Informatik und Automatisierung
Institut für Automatisierungs- und Systemtechnik
FG Regelungstechnik
Teilprojekte: TM2, KR1, KR2, KR3, N1
Fakultät für Maschinenbau
Institut für Mikro- und Nanotechnologien
FG Technische Optik
Teilprojekt: B1, B2, C1, C2, TP2
Fakultät Maschinenbau
FG Mikrosystemtechnik
Teilprojekte: A1, A2, B1, C1, TP2, TP3
Fakultät Maschinenbau
FG Feinwerktechnik
Teilprojekte: A3, B1, N2
Fakultät Maschinenbau
FG Nachgiebige Systeme
Teilprojekt: A3
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
FG Mikro- und nanoelektronische Systeme
Arbeitsgruppe Mikromechanische Sensoren
Teilprojekte: A1
Beteiligte Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler
Prof. Teodor Gotszalk - Wroclaw University of Technology, Polen
Dr.-Ing. Stefanie Gutschmidt - University of Canterbury, Christchurch, Neuseeland
Prof. Dr.-Ing. habil.Tino Hausotte - Universität Erlangen Nürnberg
Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann - Ruhr-Universität Bochum
Prof. Dr.-Ing. habil. Ivo W. Rangelow - TU Ilmenau
Prof. Dr.rer.nat. Carsten Reinhardt - Hochschule Bremen
Prof. Dr.-Ing. Michael Ruderman - University of Agder, Kristiansand, Norwegen
Prof. Steve James - Cranfield University
Prof. Hassan HosseinNia - Delft University of Technology
Prof. Harald Planck - Technische Universität Graz
Assoziierte Mitglieder
M.Sc. Raschid Azizy
M.Sc. Maximilian Darnieder
M.Sc. Juan Sebastian Fischer Calderon
PhD Shima Gharbi Ghebjagh
M.Sc. Christoph Hahm
Dipl.-Ing. Steffen Hesse
M.Sc. Maximilian Krey
M.Sc. Ivan Poroskun
Frau M.Sc. Parastoo Salimitari
M.Sc. Guido Straube
M.Sc. Mario André Torres Melgarejo
Frau M.Sc. Karin Wedrich
M.Sc. Florian Weigert
M.Sc. Martin Wittke