Geschichtliches

1955
Gründung des "Institutes für allgemeine und optische Messtechnik" an der Fakultät für Feinmechanik und Optik
Institutsleiter: Prof. Dr. phil. Otto Dobenecker
Forschungsschwerpunkt: Feinmesstechnik
  
1961
Prof. Dr.-Ing. Paul G. Michelsson wird Leiter des "Institutes für allgemeine und optische Messtechnik"
Forschungsschwerpunkte: Betriebsmesstechnik; elektrische Messung nichtelektrischer Größen
 
1968
Unter der Leitung von Prof. Michelsson erfolgte die Eingliederung des Institutes als Fachbereich "Prozessmesstechnik" in die neu gegründete Sektion "Technische und Biomedizinische Kybernetik"
Forschungsschwerpunkte: durch Zusammenarbeit mit den anderen Fachbereichen der Sektion: Integration der Informationsverarbeitung, der Computertechnik, der Schaltungstechnik sowie der Steuerungs- und Regelungstechnik
 
1981
Prof. Dr.-Ing. habil. Gerd Jäger übernimmt die Leitung des Fachbereichs, der aufgrund der Profilerweiterung die Bezeichnung "Prozessmess- und Sensortechnik" erhält
Forschungsschwerpunkte: Sensortechnik; Laser-Nano-Messtechnik; Optoelektronik; Dynamische Kraft- und Temperaturmessung

1988
Prof. Dr.-Ing. habil. Rainer Grünwald wird zum außerordentlichen Professor berufen und arbeitet als Hochschullehrer am Wissenschaftsbereich Prozessmess- und Sensortechnik an der TH Ilmenau

1990
Gründung des "Institutes für Prozessmess- und Sensortechnik" an der "Fakultät für Informatik und Automatisierung"
Institutsleiter: Prof. Dr.-Ing. habil. Gerd Jäger

1992
Eingliederung des "Institutes für Prozessmess- und Sensortechnik " in die "Fakultät für Maschinenbau"
Institutsleiter: Prof. Dr.-Ing. habil. Gerd Jäger
 
2002
Bestätigung des Sonderforschungsbereichs SFB 622 "Nanopositionier- und Nanomessmaschinen" unter Federführung des Instituts für Prozessmess- und Sensortechnik

2008
Berufung von Prof. Dr.-Ing. Eberhard Manske für die Stiftungsprofessur "Präzisionsmesstechnik"

2009
Nach der Versetzung von Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Prof. h.c. Dr. h.c. mult. Gerd Jäger in den Ruhestand im März 2009 Übernahme der Institutsleitung durch Prof. Grünwald

2009
Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Thomas Fröhlich wird als Nachfolger von Prof. Jäger für das Fachgebiet Prozessmesstechnik berufen.

2010
Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Thomas Fröhlich übernimmt die Institutsleitung, nachdem Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Rainer Grünwald in den Ruhestand verabschiedet wurde

2017
Start des Graduiertenkollegs NanoFab

2019
Prof. Fröhlich wird Dekan der Fakultät Maschinenbau, Prof. Manske übernimmt die Institutsleitung