FGR MagSens

• Bernd Hähnlein (FG Technische Physik I)
• Hauke Lars Honig (FG Werkstoffe der Elektrotechnik)
• Maria Kellner (Institut für Mikroelektronik - und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH)
• Maximilian Krey (FG Theoretische Elektrotechnik)

• Simeon Katzer
• Maximilian Ziegler

Automated Parameter Extraction of ScAlN MEMS Devices using an extended Euler-Bernoulli Beam Theory, Maximilian Krey, Bernd Haehnlein, Katja Tonisch, Stefan Krischok, and Hannes Toepfer, Sensors 2020, 20(4), 1001; doi.org/10.3390/s20041001.

Structure and dielectric function tensor of (Al,Sc)N thin films, Sascha Kürth, Rüdiger Schmidt-Grund, Katja Tonisch and Stefan Krischok, DPG Frühjahrstagung 2020, Dresden, submitted.

Simulation of Magnetoelectric Microbeams, Simeon Katzer, Bernd Hähnlein, Maximilian Krey, Katja Tonisch, Stefan Krischok and Hannes Töpfer, DPG Frühjahrstagung 2020, Dresden, submitted.

Spectroscopic characterization of sputtered ScAlN thin films, Tim Hofmann, Katja Tonisch, Bernd Hähnlein, Jaroslav Kovic Jr, Jörg Pezoldt and Stefan Krischok, DPG Frühjahrstagung 2019, Regensburg.

Structural analysis of sputtered Sc(x)Al(1-x)N layers for sensor applications, Bernd Hähnlein, Tim Hofmann, Katja Tonisch, Jörg Pezoldt, Jaroslav Kovac Jr. , Stefan Krischok, Proceedings of the 6th International Conference on Materials Science & Smart Materials (MSSM) 2019; to be published in: Key Eng. Materials, accepted.

Preparation and properties of Co/Fe multilayers and Co-Fe alloy films for application in magnetic field sensors, Hauke Honig, Marcus Hopfeld, Robert Müller and Peter Schaaf, Proceedings of the 6th International Conference on Materials Science & Smart Materials (MSSM) 2019, to be published in: Key Eng. Materials, accepted.

Investigation of ScAlN for piezoelectric and ferroelectric applications, R. Petrich, H. Bartsch, K. Tonisch, K. Jaekel, S. Barth, H. Bartzsch, D. Glöß, A. Delan, S. Krischok, S. Strehle, M. Hoffmann and J. Müller, Proc. 22nd Microelectronics and Packaging Conference (EMPC) 2019. DOI: 10.23919/EMPC44848.2019.8951824

Ebenso in: Untersuchung von ScAlN für piezoelektrische und ferroelektrische Anwendungen, Rebecca Petrich, Heike Bartsch, Katja Tonisch, Konrad Jaekel, Stephan Barth, Hagen Bartzsch, Daniel Glöß, Annekatrin Delan, Stefan Krischok, Steffen Strehle, Martin Hoffmann und Jens Müller, MikroSystemTechnik  Kongress 2019, Berlin.

Design of a Test Station for Magnetoelectric Sensor Development, Maximilian Krey, Hannes Toepfer, Roman Paris, Thomas Froehlich, 19th International Symposium on Electromagnetic Fields in Mechatronics, Electrical and Electronic Engineering (ISEF), Nancy 2019.

Bending modes in magnetoelectric effect for the two-layer structure ScAlN-Ni, O.V. Sokolov, R.V. Petrov, K. Tonisch, H. Töpfer, ВЕСТНИК НОВГОРОДСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО УНИВЕРСИТЕТА 107, 2018, p. 50-53.

Magnetoelectric current sensor in the EMR range, Viktor Leontiev,  Oleg Sokolov,  Roman Petrov, Mirza Bichurin , Katja Tonisch , Stefan Krischok  and Hannes Töpfer, 13th International Conference on Applied Electromagnetics - ПЕС 2017, August 30 – September 01, 2017, Niš, Serbia

Magnetoelectric effect in layered structures of Ni/AlN/Ni and Ni/GaN/Ni, O.V. Sokolov, R.V. Petrov, K. Tonisch, H. Töpfer, ВЕСТНИК НОВГОРОДСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО УНИВЕРСИТЕТА 98, 2016, p. 60-64.

5th Status Workshop

The 5th status workshop of the research group Ultrasensitive Magnetic Field Sensing with Resonant Magneto-Electric MEMS (MagSens) will take place on 12 March 2020 in the Feynman Building R114/115 at TU Ilmenau.

4th status workshop on 27 September 2019

The 4th status workshop of the research group Ultrasensitive Magnetic Field Sensing with Resonant Magneto-Electric MEMS (MagSens) took place on 27 September 2019 in the Feynmanbau R114/115 of TU Ilmenau.

3rd status workshop on 18 March 2019

The 3rd status workshop of the research group Ultrasensitive Magnetic Field Sensing with Resonant Magneto-electric MEMS (MagSens) took place on 18 March 2019 in the Meitnerbau 1.1.101-103.

2nd status workshop

The 2nd status workshop of the research group Ultrasensitive Magnetic Field Sensors with Resonant Magneto-electric MEMS (MagSens) took place on 14 September 2018 in the Meitnerbau 1.1.101-103.

Translated with www.DeepL.com/Translator (free version)

The kick-off workshop of the MagSens research group on the topic of "Ultrasensitive magnetic field sensor technology with resonant magnetoelectric MEMS" took place on 26 February 2018 in the conference rooms of the Centre for Micro- and Nanotechnologies (TU Ilmenau, Feynman Building R114/115) from 9:00 am - 1:00 pm.

The workshop was divided into two parts: in the first part, the research group itself, its current and planned activities were presented. In the second part, after a short break, in addition to the official founding of the industrial advisory board, there was also an opportunity for discussion and clarification of open questions.

Overall, this was an opportunity to discuss and coordinate current and planned activities together with representatives of the industrial advisory board and the Thüringer Aufbaubank.

Maximilian Ziegler: Evaluation von TiN/ (Sc)AlNSchichtstapeln für die Anwendung in magnetoelektrischen MEMS (Abschlussarbeit zum B.sc. Biomedizinische Technik)

Niklas Hornemann:  Untersuchungen zur Bestimmung magnetostriktiver Eigenschaften von Co-Fe-Multilagen- und –Legierungsschichten (Abschlussarbeit zum M. sc. Werkstoffwissenschaften)

Simeon Katzer: Simulation magnetoelektrischer Balken mit COMSOL (Abschlussarbeit zum M. sc. Technische Physik)

Melanie Schiemer: Herstellung und Charakterisierung gesputterter ScxAl1-xN-Schichten für Anwendungen in der Magnetfeldsensorik
(Abschlussarbeit zum M.sc. Biomedizinische Technik, verteidigt am 15.10.2019)

Konrad Jaekel: Strukturierung von MEMS auf Sc_xAl_1-xN-Basis mit Hilfe von plasma-basierten Trockenätzprozessen für Anwendungen in der Magnetfeldsensorik
(Abschlussarbeit zum M.sc. Biomedizinische Technik, verteidigt am 13.11.2019)

Lorenz Steinacker: Herstellung und Charakterisierung magnetostriktiver Co-Fe-Legierungsschichten aus gesputterten Mehrlagenschichten
(Abschlussarbeit zum M.sc. Werkstoffwissenschaften)

Tim Hofmann: SpektroskopischeCharakterisierung von Sc_xAl_1-xN -Schichten
(Abschlussarbeit zum B.sc. Technische Physik)

Sascha Kürth: Untersuchung von Sc_xAl_1-xN-Schichten mit Hilfe der Spektralellipsometrie
(Abschlussarbeit zum B.sc. Technische Physik)

Max Heinemann: Untersuchung des Schwingverhaltens von AlN-Ni Resonatoren
(Abschlussarbeit zum B.sc. Technische Physik, verteidigt am 21.03.2018)

Theresa Scheler: Herstellung und Charakterisierung gesputterter TbFe₂-Schichten für die Anwendung in der Magnetfeldsensorik
(Projektarbeit im Master WSW, verteidigt am 16.  Mai 2018)