Implementierung eines Moduls zur großflächigen In-Line Blitzlampentemperung von gesputterten ITO-Schichten / Westphalen, Jasper

Ilmenau : Universitätsverlag Ilmenau, 2021. - X, 109 pp.

(Werkzeugtechnik Aktuell : IWT; 22)

ISBN 978-3-86360-243-7
DOI 10.22032/dbt.49068
URN urn:nbn:de:gbv:ilm1-2020000741
Price (print edition): 23,90 €

Thesis: Dissertation, Ilmenau University of Technology, 2021

Content

Blitzlampentemperung zählt zu den Kurzzeittemperverfahren, da die Erwärmung und Abkühlung einer Schicht im Bereich von Millisekunden liegen. Mit Hilfe von Blitzlampen durchgeführte Temperung dient zur oberflächennahen Erwärmung. Hierbei handelt es sich um einen thermischen Prozess, der Materialeigenschaften verändern kann. Durch die Blitzlampentemperung kann der Schichtwiderstand von transparenten leitfähigen Oxidschichten reduziert und die Transmission im sichtbaren Wellenlängenbereich erhöht werden. In der vorliegenden Forschungsarbeit wird das Prozessverhalten von dynamischen Prozessen bei Indium-Zinn-Oxid Schichten experimentell dargelegt. Dazu wurde der Einfluss von verschiedenen Prozessparametern wie Energiedichte und Pulszeit eines Blitzes erforscht. Für Schichten mit einer Schichtdicke von 150 nm konnte nach der Behandlung ein Widerstand von 14 Ω erreicht werden. Für die Transmission im sichtbaren Wellenlängenbereich wurden 87 % erzielt.

Full text access available via dbt:
https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:ilm1-2020000741

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