Kallenbach, Eberhard; Albrecht, Arne; Birli, Oliver; Eccarius, Mathias; Feindt, Karsten; Zöppig, Veit
Magnetische Mikroaktuatoren - Entwicklungsstand und Perspektiven. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 120-127
Magnetische Mikroaktuatoren - Entwicklungsstand und Perspektiven. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 120-127
Schäffel, Christoph;
Saffert, Eugen; Kallenbach, Eberhard;
Ein neuartiger integrierter Mehrkoordinatenantrieb mit Verdrehsperre durch Feldkräfte. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 469-475
Ein neuartiger integrierter Mehrkoordinatenantrieb mit Verdrehsperre durch Feldkräfte. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 469-475
Schipanski, Dagmar; Scarbata, Gerd; Kallenbach, Eberhard
Konzeption zur Gründung eines Institutes für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme (IMMS) an der TU Ilmenau mit einer Außenstelle Erfurt. - In: Dokumentation zum 1. Workshop Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme (IMMS), Partner im Technologieverbund der Thüringer Wirtschaft und Wissenschaft, (1995), S. 6-20
Konzeption zur Gründung eines Institutes für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme (IMMS) an der TU Ilmenau mit einer Außenstelle Erfurt. - In: Dokumentation zum 1. Workshop Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme (IMMS), Partner im Technologieverbund der Thüringer Wirtschaft und Wissenschaft, (1995), S. 6-20
Schäffel, Christoph;
Schober, Uwe; Kallenbach, Eberhard
Measuring system for x-y-drives without mechanical elements for preventing the armatures rotation round the z-axis. - In: PCIM '94 Europe, (1994), S. 173-181
Measuring system for x-y-drives without mechanical elements for preventing the armatures rotation round the z-axis. - In: PCIM '94 Europe, (1994), S. 173-181
Dreifke, Günter;
Kallenbach, Eberhard; Riemer, Detlef; Süßkind, Roland
Electrostatic x-y-precision drive for large ranges of motion. - In: Micro-system technologies '94, (1994), S. 1015-1024
Electrostatic x-y-precision drive for large ranges of motion. - In: Micro-system technologies '94, (1994), S. 1015-1024
Kallenbach, Eberhard;
Albrecht, Arne; Birli, Oliver
Design of microactuators. - In: Micro-system technologies '94, (1994), S. 979-988
Design of microactuators. - In: Micro-system technologies '94, (1994), S. 979-988
Wendorff, Eckard; Kallenbach, Eberhard
Direct drives for positioning tasks based on hybrid stepper motors. - In: PCIM '93 Europe, (1993), S. 38-52
Direct drives for positioning tasks based on hybrid stepper motors. - In: PCIM '93 Europe, (1993), S. 38-52
Süßkind, R.; Riemer, Detlef
Parallele Antriebssysteme in Mikrotechnik - Integration von Sensorik, Aktorik und Führung. - In: [Kongreßteile C3 - C6], (1993), S. 69-76
Parallele Antriebssysteme in Mikrotechnik - Integration von Sensorik, Aktorik und Führung. - In: [Kongreßteile C3 - C6], (1993), S. 69-76
Riemer, Detlef;
Elektrostatischer Linearantrieb. - In: Mikrosysteme für Verfahrens- und Fertigungstechnik, (1993), S. 111-122
Elektrostatischer Linearantrieb. - In: Mikrosysteme für Verfahrens- und Fertigungstechnik, (1993), S. 111-122
Albrecht, Arne;
Synthese von Mikroaktuatoren. - In: Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik, (1993), S. 447-461
Synthese von Mikroaktuatoren. - In: Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik, (1993), S. 447-461