Konferenzschriften (Kongressbeiträge, Tagungsbeiträge-Abstracts)

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Jäger, Gerd; Manske, Eberhard; Hausotte, Tino; Büchner, Hans-Joachim; Grünwald, Rainer; Schott, Walter
Nanomeasuring technology - nanomeasuring machine. - In: Proceedings of the sixteenth annual meeting, (2001), S. 23-27

Jäger, Gerd; Manske, Eberhard; Hausotte, Tino
Nanopositioning and measuring machine. - In: Precision engineering, nanotechnology, (2001), S. 290-293

Jäger, Gerd; Füßl, Roland; Gerhardt, Uwe; Sommer, Klaus-Dieter
A new method for the automatic testing of application tonometers. - In: Topic 13: Measurements in biology and medicine, Topic 18: Measurement of human functions, Topic 19: Special topics for IMEKO-XVI in Vienna, Topic 26: Environmental measurement, Topic 28: Measurement in construction engineering, (2000), S. 51-56

Jäger, Gerd;
Lasernanomeßtechnik - Anwendungen in der Präzisionsgerätetechnik. - In: Sensoren, Aufnehmer und Systeme 2000, (2000), S. 428-441

Jäger, Gerd; Manske, Eberhard; Hausotte, Tino; Büchner, Hans-Joachim
Nanomeasuring machine. - In: Proceedings, (2000), S. 551-556

Jäger, Gerd; Manske, Eberhard; Hausotte, Tino; Büchner, Hans-Joachim
Laserinterferometrische Nanomeßmaschinen. - In: Sensoren und Meßsysteme 2000, (2000), S. 271-278

Am Institut für Prozeßmeß- und Sensortechnik wird eine Nanomeßmaschine für die Dreikoordinatenmessung mit einem Meßbereich von 25mm x 25mm x 5mm und einer Auflösung von 1,3nm entwickelt. Sie schließt mit ihrer Auflösung und ihrem Meßbereich eine Gerätelücke in der Koordinatenmeßtechnik. Drei Miniaturplanspiegelinterferometer, ein Antastsensor und zwei Winkelsensoren werden so angeordnet, daß in allen drei Koordinatenachsen abbefehlerfreie Messungen möglich sind. Anwendungsgebiet der neuen Nanomeßmaschine ist die Präzisionsvermessung von Kleinteilen und Mikrostrukturen.



Bernhard, Frank; Augustin, Silke; Mammen, Helge; Sommer, Klaus-Dieter; Tegeler, Erich; Wagner, Mathias; Demisch, Ullrich; Trageser, Peter
Calibration of contacting sensors for temperature measurements on surfaces. - In: Proceedings of TEMPMEKO '99, the 7th International Symposium on Temperature and Thermal Measurement in Industry and Science; [1 + 2 + 3 June 1999, Delft, the Netherlands, (1999), S. 257-262

Bernhard, Frank; Augustin, Silke; Mammen, Helge; Sommer, Klaus-Dieter; Tegeler, Erich; Wagner, Mathias; Demisch, Ullrich; Trageser, Peter
Kalibrierung von Tastfühlern für Temperaturmessungen an Oberflächen. - In: PTB-Mitteilungen, ISSN 0030-834X, Bd. 109 (1999), 5, S. 347-355

Bragynets, S.; Legkov, G.; Tsydelko, V.; Jäger, Gerd
Neural network technology in nanometry. - In: [Vortragsreihen, (1999), S. 289-296

Fehling, Thomas; Fröhlich, Thomas; Heydenbluth, Detlef
Der Massekomparator - hochgenaue Massebestimmung an der Grenze des technisch Möglichen. - In: 44. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1999), insges. 6 S.