The Planck-Balance - primary mass metrology for industrial applications. - In: Journal of physics, ISSN 1742-6596, Bd. 1065 (2018), 4, 042021, insges. 4 S.
https://doi.org/10.1088/1742-6596/1065/4/042021
Field emission from diamond nanotips for scanning probe lithography. - In: Journal of vacuum science & technology, ISSN 2166-2754, Bd. 36 (2018), 6, 06JL02, insges. 6 S.
https://doi.org/10.1116/1.5048193
Nanonewton force measurements based on electromagnetic force compensated balances (EMFC). - In: CPEM 2018, ISBN 978-1-5386-0974-3, (2018), insges. 2 S.
https://doi.org/10.1109/CPEM.2018.8501174
Multicomponent force and torque measurement in the new SI. - In: CPEM 2018, ISBN 978-1-5386-0974-3, (2018), insges. 2 S.
https://doi.org/10.1109/CPEM.2018.8500809
First results using the Planck-Balance. - In: CPEM 2018, ISBN 978-1-5386-0974-3, (2018), insges. 2 S.
https://doi.org/10.1109/CPEM.2018.8500904
Towards alternative 3D nanofabrication in macroscopic working volumes. - In: Measurement science and technology, ISSN 1361-6501, Bd. 29 (2018), 11, S. 114002, insges. 19 S.
https://doi.org/10.1088/1361-6501/aadb57
Approach to determining the uncertainty and predictive capability of a FEM simulation model of a small multiple fixed-point cell for calibration of contact thermometers :
Ansatz zur Bestimmung der Unsicherheit und Prognosefähigkeit eines FEM-Simulationsmodells einer kleinen Mehrfachfixpunktzelle für Kalibrierung von Berührungsthermometern. - In: Technisches Messen, ISSN 2196-7113, Bd. 85 (2018), S. S86-S94
Die Definition und Variation von Eingangsparametern eines Modells erlaubt nach einer Stichprobenberechnung die Auswertung von verteilten Ausgangsparametern. Sie werden als Reproduzierbarkeit dieser Berechnung angesehen. Für ein thermisches FEM-Modell einer kleinen Mehrfachfixpunktzelle für die Kalibrierung von Berührungsthermometern wird nach dieser Prozedur und nach einem Vergleich (Validierung) mit der Reproduzierbarkeit experimentell ermittelter Ergebnisse mittels einer Validierungsmetrik ein Vertrauensintervall berechnet, in dem Prognosen mit dem Modell an einer nicht validierten Stelle durchgeführt werden könnten. Dieser Ansatz wird in diesem Beitrag vorgestellt.
https://doi.org/10.1515/teme-2018-0027
Heterodynes Stehende-Welle-Interferometer :
Heterodyne standing-wave interferometer. - In: Technisches Messen, ISSN 2196-7113, Bd. 85 (2018), S. S80-S85
This manuscript describes a novel standingwave arrangement with two laser sources of different wavelengths, emitting towards each other. The resulting standing wave has a continuously moving intensity profile, a thin, transparent photo sensor is inserted into. When the sensor is moved along the optical axis a frequency shift, proportional to the velocity, occurs. This frequency shift can be evaluated for the purpose of interferometric length measurements.
https://doi.org/10.1515/teme-2018-0017
Interferometric atomic force microscope: design, metrological properties and application measurements :
Interferometrisches Rasterkraftmikroskop: Aufbau, messtechnische Eigenschaften und Applikationsmessungen. - In: Technisches Messen, ISSN 2196-7113, Bd. 85 (2018), S. S52-S58
Der vorliegende Beitrag stellt die besonderen Merkmale, die Funktionsweise, den Aufbau, die messtechnischen Eigenschaften sowie wichtige Applikationsmessungen des interferometrischen Rasterkraftmikroskops dar. Das interferometrische Rasterkraftmikroskop dient als Antastsystem in der Nanopositionier- und Nanomessmaschine NMM-1. Sein Hauptmerkmal ist der Lagedetektor - das kombinierte Sondenmesssystem, das die gleichzeitige Erfassung der Torsion, Biegung und Position des Cantilevers mittels Lichtzeiger und Interferometer ermöglicht. Es wird das Prinzip der gleichzeitigen Erfassung von Position und Winkellage der Sonde mittels eines Interferometers und eines Lichtzeigers erläutert, die optische Anordnung vorgestellt und anschließend die durchgeführte Dimensionierung des Lagedetektors diskutiert. Außerdem widmet sich dieser Beitrag neben den messtechnischen Eigenschaften des interferometrischen Rasterkraftmikroskops auch der Kalibrierung des Antastsystems und insbesondere der Unsicherheitsanalyse einer Beispielmessung.
https://doi.org/10.1515/teme-2018-0023
High-precision optical metrology for Darwin: design and performance. - In: International Conference on Space Optics - ICSO 2004, (2018), S. 105682N-1-105682N-8
https://doi.org/10.1117/12.2500126