Jäger, Gerd; Manske, Eberhard; Hausotte, Tino
Neue Anwendungen der Nanomessmaschine (NPM-Maschine) durch die Entwicklung nanoskaliger optischer und taktiler Tastsensoren. - In: Technisches Messen, ISSN 2196-7113, Bd. 73 (2006), 9, S. 457-464
http://dx.doi.org/10.1524/teme.2006.73.9.457
Neue Anwendungen der Nanomessmaschine (NPM-Maschine) durch die Entwicklung nanoskaliger optischer und taktiler Tastsensoren. - In: Technisches Messen, ISSN 2196-7113, Bd. 73 (2006), 9, S. 457-464
http://dx.doi.org/10.1524/teme.2006.73.9.457
Büchner, Hans-Joachim; Jäger, Gerd
A novel plane mirror interferometer without using corner cube reflectors. - In: Measurement science and technology, ISSN 1361-6501, Bd. 17 (2006), 4, S. 746-752
http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/17/4/021
A novel plane mirror interferometer without using corner cube reflectors. - In: Measurement science and technology, ISSN 1361-6501, Bd. 17 (2006), 4, S. 746-752
http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/17/4/021
Jäger, Gerd;
Manske, Eberhard
Nanopositionier- und Nanomesstechnik. - In: Ingenieur-Nachrichten, (2005), 2, S. 4
Nanopositionier- und Nanomesstechnik. - In: Ingenieur-Nachrichten, (2005), 2, S. 4
Welter, Matthias; Manske, Eberhard; Jäger, Gerd
Interferometrischer Sensor und interferometrisches Kalibriersystem für Ultrapräzisions-Anwendungen. - In: Technisches Messen, ISSN 2196-7113, Bd. 72 (2005), 10, S. 566-575
http://dx.doi.org/10.1524/teme.2005.72.10_2005.566
Interferometrischer Sensor und interferometrisches Kalibriersystem für Ultrapräzisions-Anwendungen. - In: Technisches Messen, ISSN 2196-7113, Bd. 72 (2005), 10, S. 566-575
http://dx.doi.org/10.1524/teme.2005.72.10_2005.566
Stiebig, H.; Mandryka, Victor; Bunte, E.; Büchner, Hans-Joachim; Jun, K. H.
Novel micro interferometer for length measurements. - In: Journal of non-crystalline solids, ISSN 0022-3093, Bd. 338/340 (2004), S. 793-796
http://dx.doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2004.03.093
Novel micro interferometer for length measurements. - In: Journal of non-crystalline solids, ISSN 0022-3093, Bd. 338/340 (2004), S. 793-796
http://dx.doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2004.03.093
Jäger, Gerd; Grünwald, Rainer; Manske, Eberhard; Hausotte, Tino; Füßl, Roland
A nanopositioning and nanomeasuring machine : operation-measured results. - In: Nami-jishu-yu-jingmi-gongcheng, ISSN 1672-6030, Bd. 2 (2004), 2, S. 81-84
A nanopositioning and nanomeasuring machine : operation-measured results. - In: Nami-jishu-yu-jingmi-gongcheng, ISSN 1672-6030, Bd. 2 (2004), 2, S. 81-84
An the Institute of Process Measurement and Sensor Technology of Technische Universität Ilmenau, a three-dimensional nanopositioning and nanomeasuring machine (NPM-Machine) has been developed. The Abbe offset-free design provides extra-ordinary accuracy. In the entire positioning and measuring range of 25 mm x 25 mm x 5 mm the interferometric length measurement system reaches a resolution of 0,1 nm and an uncertainty of 5 - 10 nm. The article gives basic information on this nanopositioning and measuring machine, explains its mode of operation and represents measurement results.
Hausotte, Tino; Jäger, Gerd; Manske, Eberhard; Hofmann, Norbert; Mastylo, Rostyslav
Traceable nanometrology with a nanopositioning and nanomeasuring machine. - In: Zhongguo-jixie-gongcheng-xuekan, ISSN 0257-9731, Bd. 25 (2004), 5, S. 399-404
Traceable nanometrology with a nanopositioning and nanomeasuring machine. - In: Zhongguo-jixie-gongcheng-xuekan, ISSN 0257-9731, Bd. 25 (2004), 5, S. 399-404
Mastylo, Rostyslav;
Manske, Eberhard; Manske, Eberhard *1956-*; Jäger, Gerd;
Development of a focus sensor and its integration into the nanopositioning and nanomeasuring machine :
Entwicklung eines Fokussensors und Integration in die Nanopositionier- und Nanomessmaschine. - In: Technisches Messen, ISSN 2196-7113, Bd. 71 (2004), 11, S. 596-602
https://doi.org/10.1524/teme.71.11.596.51377
Development of a focus sensor and its integration into the nanopositioning and nanomeasuring machine :
Entwicklung eines Fokussensors und Integration in die Nanopositionier- und Nanomessmaschine. - In: Technisches Messen, ISSN 2196-7113, Bd. 71 (2004), 11, S. 596-602
https://doi.org/10.1524/teme.71.11.596.51377
Schott, Walter; Pöschel, Wolfgang; Ecke, Susanne; Jäger, Gerd; Grünwald, Rainer; Büchner, Hans-Joachim; Manske, Eberhard; Wurzbacher, Holger
Präzision mit Laserlicht. - In: Laser + Photonik, ISSN 1610-3521, (2003), 1, S. 31-33
Präzision mit Laserlicht. - In: Laser + Photonik, ISSN 1610-3521, (2003), 1, S. 31-33
Büchner, Hans-Joachim; Stiebig, H.; Mandryka, Victor; Bunte, E.; Jäger, Gerd
An optical standing-wave interferometer for displacement measurements. - In: Measurement science and technology, ISSN 1361-6501, Bd. 14 (2003), 3, S. 311-316
http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/14/3/309
An optical standing-wave interferometer for displacement measurements. - In: Measurement science and technology, ISSN 1361-6501, Bd. 14 (2003), 3, S. 311-316
http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/14/3/309