Miniaturized optical integration platform for III-N based opto-chemical detectors :
Miniaturisierte optische Integrationsplattform für III-N-basierte opto-chemische Detektoren. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 464-467
In this contribution we present the micro-nano-integration of an opto-chemical sensor based on III-N nanowire hetero-strucures for the detection of oxidizing and reducing gases. We discribe the optical design approach for efficiently shaping the excitation radiation as well as the precise fabrication of the miniaturized integration platform. After investigating the optical performance of the microsystem the electro-optical components and the nanowire heterostructures are integrated to evaluate the gas detection properties of the sensor system.
Opto-mechanical microsystems for hyperspectral imaging :
Opto-mechanische Mikrosysteme zur hyperspektralen Bildgebung. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 139-142
We present approaches and systems for hyperspectral imaging devices. The first approach is based on resonant waveguide gratings. Another two systems employ a hyperchromatic confocal approach for the spectral separation of light. The necessary multiplexing in time is realized by tuneable optics. Here we use fluidic micro lenses as well as diffractive Alvarez-Lohmann Lenses. To increase the resolution of such systems micromechanical stepper actuators with large travel range are designed.
Tunable micro-lenses based on aluminium nitride membranes :
Adaptive Mikrolinsen basierend auf Aluminiumnitrid Membranen. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 173-176
Tunable micro-lenses based on deformable membranes consist of a liquid, whose surface is defined by a pressure chamber and a membrane. If a pressure is applied, the membrane deflects spherically. Thus the liquid within the pressure chamber, which is covered with the membrane, forms a plano-convex lens. Within this contribution aluminium nitride membranes for tunable lenses are investigated. They benefit from long-term-stability and a nearly ideal spherical deformation. For the mechanical and optical characterization we use 500 nm thick membranes with a diameter of 3 mm. For an applied pressure of 20 kPa, we observed membrane delections of up to 64 [my]m and refractive powers between 0 and 25 dpt.
Characterization of photoresist using speckle fields - a theoretical investigation. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 114.2013, P57, insges. 2 S.
Gray scale lithography consists of numerous sophisticated favrication steps making it necessary to characterize the process of substrate structuring. We expose the photoresist with random intensity, i.e. speckle fields instead of conventional specific test patterns and observe their behavior in Fourier plane caused by coherent illumination of this processed substrate.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=23325
An optimization method for radial NURBS surfaces. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 114.2013, P54, insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=23557
Entwicklung eines integrierten multifunktionalen Fluoreszenzdetektors. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 114.2013, P47, insges. 2 S.
Fluoreszenzdetektion hat eine große Bedeutung in biologischen und medizinischen Anwendungen für die Analyse verschiedener Farbstoffe und Zellkulturen. Durch Kombination von Fluidik, Optik und Elektronik ist die Realisierung eines kompakten und hochempfindlichen Messsystems möglich, welches vorteilhaft bei der Messung von Proben mit kleinen Volumina ist.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=23544
Interferenzlithografie mit gesteuerter Belichtungsverteilung. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 114.2013, P43, insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=23545
3D Mie-Streuung in Simulation und Streulichtexperiment. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 114.2013, P15, insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=23555
Optisches System für die Manipulation mikroskopischer Objekte in gasförmiger Umgebung. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 114.2013, B29, insges. 2 S.
Optische Pinzetten sind seit ihrer Entdeckung zu einem nützlichen Werkzeug für die Analyse und das Manipulieren von mikroskopischen Objekten in einem breitgefächerten Anwendungsbereich geworden. Für die Manipulation von Objekten im Mikrometerbereich wurde ein optisches System entwickelt. Dieses wird in einer Nanopositionier- und Nanomessmaschine als Werkzeug zum Einsatz kommen. Aus den Umgebungsbedingungen und Anforderungen wurden verschiedene Konzepte für die optische Pinzette erarbeitet und hinsichtlich ihrer Eignung analysiert. Das System bestehend aus einem Doppelaxicon und einem parabolischen Ringspiegel wurde in einem iterativen Designprozess optimiert. Die Integration einer strahlenoptischen Kraftberechnung in den Designprozess ermöglichte die Optimierung des Systems hinsichtlich seiner Fangeffizienz. Die Komponenten des optischen Systems wurden mit einem Ultrapräzisionsdiamantdrehprozess hergestellt. Dieses System wurde innerhalb eines on-axis Laboraufbaus hinsichtlich seiner optischen Funktionalität charakterisiert sowie bezüglich seiner Eignung für das dreidimensionale Manipulieren von mikroskopischen Partikeln untersucht.
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:0287-2013-B029-7
Optische in-situ Prozesskontrolle bei der Herstellung von anorganischen Materialien. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 114.2013, B13, insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=23326