Vogler, U.; Bich, A.; Völkel, R.; Hornung, M.; Zoberbier, R.; Sinzinger, Stefan
Optimierung des Beleuchtungssystem eines Mask Aligners (MO Exposure Optics). - In: Einladung zur 112. Jahrestagung vom 14. Juni bis 18. Juni 2011 und zur satzungsgemäßen ordentlichen Mitgliederversammlung der DGaO am 17. Juni 2011 in Ilmenau/Thüringen, (2011), S. 60
Optimierung des Beleuchtungssystem eines Mask Aligners (MO Exposure Optics). - In: Einladung zur 112. Jahrestagung vom 14. Juni bis 18. Juni 2011 und zur satzungsgemäßen ordentlichen Mitgliederversammlung der DGaO am 17. Juni 2011 in Ilmenau/Thüringen, (2011), S. 60
Hofmann, Meike; Kampmann, Ronald; Sinzinger, Stefan
Mikrosystem zur Partikelkonzentrationsmessung auf Basis der Talbotinterferometrie. - In: Einladung zur 112. Jahrestagung vom 14. Juni bis 18. Juni 2011 und zur satzungsgemäßen ordentlichen Mitgliederversammlung der DGaO am 17. Juni 2011 in Ilmenau/Thüringen, (2011), S. 20
Mikrosystem zur Partikelkonzentrationsmessung auf Basis der Talbotinterferometrie. - In: Einladung zur 112. Jahrestagung vom 14. Juni bis 18. Juni 2011 und zur satzungsgemäßen ordentlichen Mitgliederversammlung der DGaO am 17. Juni 2011 in Ilmenau/Thüringen, (2011), S. 20
Sinzinger, Stefan;
Mitschunas, Beate; Weber, Ralf
55 Jahre Optik in Ilmenau - von der analytischen Bildfehlertheorie zu optischen Mikrosystemen. - In: Einladung zur 112. Jahrestagung vom 14. Juni bis 18. Juni 2011 und zur satzungsgemäßen ordentlichen Mitgliederversammlung der DGaO am 17. Juni 2011 in Ilmenau/Thüringen, (2011), S. 8
55 Jahre Optik in Ilmenau - von der analytischen Bildfehlertheorie zu optischen Mikrosystemen. - In: Einladung zur 112. Jahrestagung vom 14. Juni bis 18. Juni 2011 und zur satzungsgemäßen ordentlichen Mitgliederversammlung der DGaO am 17. Juni 2011 in Ilmenau/Thüringen, (2011), S. 8
Stoebenau, Sebastian; Kleindienst, Roman; Kampmann, Ronald; Sinzinger, Stefan
Enhanced optical functionalities by integrated ultraprecision machining techniques. - In: Proceedings of the 11th International conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, (2011), S. 148-151
Enhanced optical functionalities by integrated ultraprecision machining techniques. - In: Proceedings of the 11th International conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, (2011), S. 148-151
Hoffmann, Martin; Kremin, Christoph; Stubenrauch, Mike; Fröber, Ulrike; Polster, Tobias; Fischer, Michael; Bartsch de Torres, Heike; Müller, Jens; Sinzinger, Stefan; Witte, Hartmut
Integration von nanostrukturierten Materialien in mikrofluidische Systeme: Perspektiven und Herausforderungen. - In: Programm, ISBN 978-3-00-034073-4, (2011), S. 25-26
Integration von nanostrukturierten Materialien in mikrofluidische Systeme: Perspektiven und Herausforderungen. - In: Programm, ISBN 978-3-00-034073-4, (2011), S. 25-26
Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Knöbber, Fabian; Polster, Tobias; Ambacher, Oliver; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
Tunable refractive beam steering using aluminum nitride thermal actuators. - In: MEMS adaptive optics V, ISBN 978-0-8194-8468-0, 2011, 79310B, insges. 7 S.
Tunable refractive beam steering using aluminum nitride thermal actuators. - In: MEMS adaptive optics V, ISBN 978-0-8194-8468-0, 2011, 79310B, insges. 7 S.
Knöbber, Fabian;
Bludau, Oliver; Röhlig, Claus-Christian; Sah, Ram Ekwal; Williams, O. A.; Kirste, Lutz; Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Cimalla, Volker; Ambacher, Oliver; Lebedev, Vadim
Dynamic characterization of thin aluminum nitride microstructures. - In: Physica status solidi, ISSN 1610-1642, Bd. 8 (2011), 2, S. 479-481
https://doi.org/10.1002/pssc.201000512
Dynamic characterization of thin aluminum nitride microstructures. - In: Physica status solidi, ISSN 1610-1642, Bd. 8 (2011), 2, S. 479-481
https://doi.org/10.1002/pssc.201000512
Hillenbrand, Matthias; Zhao, Mingcheng; Mitschunas, Beate; Sinzinger, Stefan
Untersuchungen zur Genauigkeit NURBS-basierter optischer Freiformflächen. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 111.2010, P36, insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=18627
Untersuchungen zur Genauigkeit NURBS-basierter optischer Freiformflächen. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 111.2010, P36, insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=18627
Satzer, Britta; Mitschunas, Beate; Stoebenau, Sebastian; Sinzinger, Stefan
Design und Demonstrationsaufbau eines optischen Systems mit Freiformfläche. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 111.2010, P35, insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=18626
Design und Demonstrationsaufbau eines optischen Systems mit Freiformfläche. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 111.2010, P35, insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=18626
Sabitov, Nail; Meinecke, Thomas; Sinzinger, Stefan;
Bestimmung der Genauigkeit beim holographischen Messverfahren in Mikrofluidsystemen. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 111.2010, P13, insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=18625
Bestimmung der Genauigkeit beim holographischen Messverfahren in Mikrofluidsystemen. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 111.2010, P13, insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=18625