Eichhorn, Gerd; Pezoldt, Jörg; Stauden, Thomas; Zöllner, Jens-Peter
Rapid Thermal Processing in der Mikroelektroniktechnologie. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 118-121
Rapid Thermal Processing in der Mikroelektroniktechnologie. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 118-121
Kalnin, Andreji Aleksandrowitsch; Pezoldt, Jörg; Neubert, Frank
Grundlagen der Struktursteuerung und Herstellung von heteropolytypen Kompositionen auf der Basis von SiC. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 102-112
Grundlagen der Struktursteuerung und Herstellung von heteropolytypen Kompositionen auf der Basis von SiC. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 102-112