Köthe, Gerhard;
Elektromigrationsuntersuchungen an Al- und Al/Si-Siliziumkontakten. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 55-58
Elektromigrationsuntersuchungen an Al- und Al/Si-Siliziumkontakten. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 55-58
Kaufmann, Thorsten; Fuchs, Gerhard; Webert, Matthias
MOCVD von ZnO-Schichten. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 51-53
MOCVD von ZnO-Schichten. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 51-53
Breternitz, Volkmar; Beier, Volker
Zu Werkstoffproblemen bei der Kontaktierung in der GaAs-Mikroelektronik. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 23-26
Zu Werkstoffproblemen bei der Kontaktierung in der GaAs-Mikroelektronik. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 23-26
Arnold, Heinrich;
Zum Stand der physikochemischen Modellbildung für CVD-Prozesse. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 7-9
Zum Stand der physikochemischen Modellbildung für CVD-Prozesse. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 7-9
Tippmann, Herbert; Spieß, Lothar; Hummel, Wolf-Joachim; Knedlik, Christian; Nitzsche, Karl; Linß, M.
Eigenschaften von Tantal-Silizium-Mischschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 6, S. 175-182
Eigenschaften von Tantal-Silizium-Mischschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 6, S. 175-182
Spieß, Lothar; Tippmann, Herbert; Hegewald, Gunter; Nitzsche, Karl; Knedlik, Christian
Wolframsilicidbildung durch Temperung von Wolframschichten auf einkristallinem Silicium. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 6, S. 167-174
Wolframsilicidbildung durch Temperung von Wolframschichten auf einkristallinem Silicium. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 6, S. 167-174
Tippmann, Herbert; Spieß, Lothar; Linß, M.; Hummel, Wolf-Joachim; Knedlik, Christian; Nitzsche, Karl
Triotron-Zerstäubungsanordnung zur Herstellung von Ta/Si-Mischschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 3, S. 161-166
Triotron-Zerstäubungsanordnung zur Herstellung von Ta/Si-Mischschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 3, S. 161-166
Teichert, Gerd;
Herstellung und Charakterisierung hochohmiger, heteroepitaktischer Zinkoxidschichten. - Ilmenau, 1986. - 94 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1986
Enthält außerdem: Thesen
Herstellung und Charakterisierung hochohmiger, heteroepitaktischer Zinkoxidschichten. - Ilmenau, 1986. - 94 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1986
Enthält außerdem: Thesen
Hegewald, Gunter;
Ein Beitrag zur Klärung des Elektromigrationsverhaltens von Leitbahnen der VLSI-Technik. - Ilmenau, 1986. - 102, 5 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1986
Enthält außerdem: Thesen
Ein Beitrag zur Klärung des Elektromigrationsverhaltens von Leitbahnen der VLSI-Technik. - Ilmenau, 1986. - 102, 5 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1986
Enthält außerdem: Thesen
Rensch, Uta; Eichhorn, Gerd
Investigation of the state of strain and of the electrical properties of AlN layers on monocrystalline Si. - In: Physica status solidi. Applications and materials science. - Weinheim : Wiley-VCH, 2005- , ISSN: 1862-6319 , ZDB-ID: 1481091-8, ISSN 1862-6319, Bd. 90 (1985), 1, S. 135-141
https://doi.org/10.1002/pssa.2210900111
Investigation of the state of strain and of the electrical properties of AlN layers on monocrystalline Si. - In: Physica status solidi. Applications and materials science. - Weinheim : Wiley-VCH, 2005- , ISSN: 1862-6319 , ZDB-ID: 1481091-8, ISSN 1862-6319, Bd. 90 (1985), 1, S. 135-141
https://doi.org/10.1002/pssa.2210900111