Konferenzbeiträge

Manske, Eberhard;
Nanofabrication in extended areas on the basis of nanopositioning and nanomeasuring machines. - In: Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS, and MOEMS 2019, (2019), S. 109580P-1-109580P-9

Alternative lithography approaches, especially pattering technologies are in advance since several years. Every day new, more or less high localized, AFM-tip based structuring methods as well as new optical and e-beam methods become acquainted. Most of them are sequential single-point procedures. The local interaction reaches from 150 nm up to sub-10 nm. Especially tip based methods are developed on the basis of atomic force microscopes AFM. Therefore, the ranges, which can be structured, are only in the range of 2 [my]m x 2 [my]m up to 100 [my]m x 100 [my]m. In most cases it is not known or not verified if those new tip based techniques are suitable for larger ranges and areas. Even the stages and control algorithms of AFM's are not optimized for defined, high dynamic and as well high stable scanning trajectories in the nanometre respectively in the sub-nanometre level.

https://doi.org/10.1117/12.2514009

Weigert, Florian; Theska, René
Development of a changing interfacefor tools in nanofabrication machines with a highly reproducible position definition :
Entwicklung einer Wechselschnittstelle für Tools in Nanofabrikationsmaschinen mit hochreproduzierbarer Lagedefinition. - In: 5. IFToMM D-A-CH Konferenz 2019, (2019), S. 90-93

Im Stand der Forschung sind Wechselschnittstellen für Sensoren und Werkzeuge bereits in unterschiedlichen Maschinenklassen zu finden. Diese erfüllen jedoch nicht die geforderten höchsten Ansprüche an die Reproduzierbarkeit der Position für den Einsatz in Nanofabrikationsmaschinen. Kinematische Kopplungen zeigen aufgrund ihrer eindeutigen, kinematisch bestimmten Lagedefinition und einer hohen Reproduzierbarkeit eine gute Eignung für den Einsatz als Wechselschnittstelle in Nanofabrikationsmaschinen. Anhand von analytischen Berechnungen werden die wirkenden Kräfte und Verformungen der Koppelpunkte ermittelt. Für die Integration einer Justierung werden neue Anordnungen einer solchen kinematischen Kopplung untersucht. Da analytische und numerische Modelle die Reproduzierbarkeit nicht ausreichend genau abbilden können, wird ein geeigneter Messaufbau entwickelt. Dessen Eignung wird anhand einer dreidimensionalen, vektorbasierten Unsicherheitsanalyse nachgewiesen. Anschließend wird mittels der Ergebnisse der untersuchten Prototypen ein Modell zur Beschreibung des Zusammenhangs zwischen Konstruktionsmerkmalen und Reproduzierbarkeit entwickelt.

https://duepublico.uni-duisburg-essen.de/servlets/DocumentServlet?id=48214

Kuznietsova, Halyna; Dziubenko, Natalia; Herheliuk, Tetiana; Perepelytsina, Olena; Prylutskyy, Yuriy; Ritter, Uwe; Scharff, Peter; Rybalchenko, Volodymyr
Pristine C60 fullerenes suppress liver fibrosis and early carcinogenesis on rat hepatocellular carcinoma model. - In: Hepatology international, ISSN 1936-0541, Bd. 13 (2019), Suppl. 1, Abstract #663, Seite S262

https://doi.org/10.1007/s12072-019-09936-5

Bruchmüller, Matthias; Geis, Julius; Koch, Michael
Mechanical property model for fiber filled thermoplastics incorporating surface tension. - In: AIP conference proceedings, ISSN 1551-7616, Bd. 2055 (2019), 070014, insges. 6 S.

https://doi.org/10.1063/1.5084858

Bruchmüller, Matthias; Juadjur, Andreas; Biehl, Michèle; Bauer, Janine
Strategies to preserve bio-based antimicrobial agents during extrusion and injection molding. - In: AIP conference proceedings, ISSN 1551-7616, Bd. 2065 (2019), 030003, insges. 5 S.

https://doi.org/10.1063/1.5088261