Die Institutsmitglieder sind Fachgebiete und eigenständige Forschergruppen der TU Ilmenau. Das außergwöhnliche Potential des Institutes für Mikro- und Nanotechnologien liegt in der breiten Aufstellung seiner Mitgliedsfachgebiete.
Fachgebiete, die wesentlich zum Betreiben und zur Aufrechterhaltung der technologischen Infrastruktur des ZMN beitragen, werden als Technologietreibende Fachgebiete kategorisiert.
Technologietreibende Fachgebiete
- FG Angewandte Nanophysik
- FG Elektroniktechnologie
- FG Mikro- und nanoelektronische Systeme
- FG Mikrosystemtechnik
- FG Nanobiosystemtechnik
- FG Nanotechnologie
- FG Grundlagen von Energiematerialien
- FG Technische Optik
- FG Technische Physik I
- FG Werkstoffe der Elektrotechnik
- FG Elektrochemie und Galvanotechnik
