Die Institutsmitglieder sind Fachgebiete und eigenständige Forschergruppen der TU Ilmenau. Das außergwöhnliche Potential des Institutes für Mikro- und Nanotechnologien liegt in der breiten Aufstellung seiner Mitgliedsfachgebiete.
Fachgebiete, die wesentlich zum Betreiben und zur Aufrechterhaltung der technologischen Infrastruktur des ZMN beitragen, werden als Technologietreibende Fachgebiete kategorisiert.
