Arnold, Heinrich;
Direkter und indirekter Atomanbau bei CVD-Prozessen für die Mikroelektronik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 31 (1985), 5, S. 169-178
Direkter und indirekter Atomanbau bei CVD-Prozessen für die Mikroelektronik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 31 (1985), 5, S. 169-178
Spieß, Lothar;
Zur Silizidproblematik in Metallisierungssystemen für integrierte Schaltkreise der VLSI-Technik. - Ilmenau, 1985. - 1 Band (verschiedene Seitenzählungen)
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1985
Zur Silizidproblematik in Metallisierungssystemen für integrierte Schaltkreise der VLSI-Technik. - Ilmenau, 1985. - 1 Band (verschiedene Seitenzählungen)
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1985
Applied surface science : a journal devoted to applied physics and chemistry of surfaces and interfaces. - Amsterdam : Elsevier. - Online-Ressource, 24.1985 - 258.2012; Vol. 259.2012 -Gesehen am 14.10.2020
https://www.sciencedirect.com/journal/applied-surface-science
https://www.sciencedirect.com/journal/applied-surface-science
Peterseim, Erhard;
Zum Einfluß der Schaltkreismetallisierung auf die Langzeitstabilität von Au-Draht-Thermokompressionskontakten. - Ilmenau, 1985. - 119 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1985
Zum Einfluß der Schaltkreismetallisierung auf die Langzeitstabilität von Au-Draht-Thermokompressionskontakten. - Ilmenau, 1985. - 119 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1985
Georgi, Christian; Arnold, Heinrich
Metallorganische Gasphasenepitaxie und kristallographische Charakterisierung von ALN auf Saphir. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 47-49
Metallorganische Gasphasenepitaxie und kristallographische Charakterisierung von ALN auf Saphir. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 47-49
Arnold, Heinrich;
CVD-Modelle mit separierten Oberflächenprozessen. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 39-42
CVD-Modelle mit separierten Oberflächenprozessen. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 39-42
Hegewald, Gunter;
Nitzsche, Karl;
Elektromigration in Leitbahnen und Kontaktierungsstellen. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 25-27
Elektromigration in Leitbahnen und Kontaktierungsstellen. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 25-27
Spieß, Lothar; Tippmann, Herber; Knedlik, Christian
Elektrische Charakterisierung von Schwermetall-Silizium-Mischschichten. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 7-10
Elektrische Charakterisierung von Schwermetall-Silizium-Mischschichten. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 7-10
Nitzsche, Karl;
Werkstoffwissenschaftliche Aspekte der Entwicklung des Kontakt- und Leitbahnsystems der VLSI-Technik. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 3-6
Werkstoffwissenschaftliche Aspekte der Entwicklung des Kontakt- und Leitbahnsystems der VLSI-Technik. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 3-6
Nitzsche, Karl; Knedlik, Christian; Tippmann, Herbert; Spieß, Lothar; Harman, Rudolf; Vanek, Oldrich; Tvarozek, Vladimir
Herstellung und Charakterisierung von getemperten Wolframschichten auf einkristallinem Silizium. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 6, S. 131-140
Herstellung und Charakterisierung von getemperten Wolframschichten auf einkristallinem Silizium. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 6, S. 131-140