Conference papers from 2018

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Harman, Rudolf; Nitzsche, Karl
Erfolgreiche gemeinsame Lehre und Forschung der STH Bratislava, Lehrstuhl Mikroelektronik, und der TH Ilmenau, Sektion PHYTEB, 1974 - 1984. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 6, S. 121-130

Koprinarow, Nicola; Nitzsche, Karl
Der Einfluß elektrischer Transversalfelder auf die Struktur und elektronischen Eigenschaften aufgedampfter Metallschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 2, S. 147-155

Koprinarow, Nicola; Nitzsche, Karl
Kurzzeitige Veränderung des Schichtwiderstandes dünner Metallschichten im Vakuum. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 169-180

Richter, Anett; Rensch, Uta; Knedlik, Christian
RBS-Untersuchungen an Metallisierungsschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 161-168

Hegewald, Gunter; Knedlik, Christian;
Elektromigration in Aluminiumlegierungsleitbahnen. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 153-159

Tippmann, Herbert; Spieß, Lothar; Knedlik, Christian
Elektrische Charakterisierung von Schichten und Strukturen der Metallisierung für die VLSI-Technik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 143-152

Knedlik, Christian; Tippmann, Herbert
Kontaktierungsprobleme der VLSI-Technik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 133-142

Eichhorn, Gerd;
Präparation und Untersuchung von Aluminiumnitridschichten für die Mikroelektronik. - 107 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Habilitationsschrift 1984


Rensch, Uta; Eichhorn, Gerd
Investigations on the structure of MOCVD AIN layers on silicon. - In: Physica status solidi. Applications and materials science. - Weinheim : Wiley-VCH, 2005- , ISSN: 1862-6319 , ZDB-ID: 1481091-8, ISSN 1862-6319, Bd. 77 (1983), 1, S. 195-199

https://doi.org/10.1002/pssa.2210770123
Eichhorn, Gerd; Rensch, Uta
MOCVD of AlN on silicon. - In: Physica status solidi. Applications and materials science. - Weinheim : Wiley-VCH, 2005- , ISSN: 1862-6319 , ZDB-ID: 1481091-8, ISSN 1862-6319, Bd. 69 (1982), 1, Seite K3-K6

https://doi.org/10.1002/pssa.2210690146